Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9296911 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur producteur GT est un équipement de traitement avancé développé par AMAT pour fournir des rendements de production plus élevés dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Le réacteur combine la livraison de gaz, la gestion thermique et les technologies plasma appliquées pour créer une solution intégrée pour contrôler les processus de gravure à base de Si. Au cœur du réacteur AMAT Producer GT se trouve sa livraison multi-gaz. Le réacteur est capable d'alimenter jusqu'à huit gaz différents, ce qui permet son utilisation dans des procédés de gravure en plusieurs étapes impliquant la délivrance séquentielle ou simultanée de fluor contenant, noble, dopant et autres espèces réactives. En utilisant des régulateurs de débit massique avancés (AMFC), il est possible d'obtenir une uniformité et une répétabilité supérieures sur l'ensemble du substrat. En outre, l'architecture logicielle avancée du réacteur APPLIED MATERIALS Producer GT permet un contrôle précis des paramètres tels que la puissance plasmatique, la recette de procédé, etc. Le réacteur GT producteur dispose également d'une gestion thermique intégrée, permettant non seulement d'améliorer le contrôle des processus mais aussi d'améliorer l'efficacité énergétique. Son système de positionnement avancé comporte un alignement optique actif et un support de substrat étendu, ce qui le rend adapté à des substrats de tailles et de configurations variables. Ses systèmes de contrôle de la température à cycle rapide et liquide sont conçus pour assurer une homogénéité de température supérieure sur l'ensemble du substrat et pour l'ensemble de la chambre du réacteur, ce qui évite les problèmes de facettage et permet des courses plus longues à des vitesses de processus plus élevées. En ce qui concerne la technologie plasma appliquée, le réacteur AMAT/APPLIED MATERIALS Producer GT est construit à partir de la source de résonance cyclotron électronique (ECR) éprouvée de l'entreprise. Ceci permet au réacteur d'atteindre des niveaux de densité de puissance plus élevés, conduisant à des vitesses de gravure améliorées et à une meilleure uniformité du film. En outre, la source ECR améliore également l'efficacité des gaz rares, améliorant le traitement tout en réduisant les défauts au niveau des plaquettes. Le réacteur AMAT Producer GT est une unité de gravure très avancée et polyvalente qui est idéale pour la recherche et la production de semi-conducteurs. Grâce à ses capacités logicielles et matérielles avancées, le réacteur est capable non seulement d'obtenir des rendements de production plus élevés, mais aussi d'améliorer la répétabilité et l'uniformité des processus. Les capacités de gestion thermique intégrée de la machine permettent également d'améliorer l'efficacité énergétique, ce qui réduit les émissions de carbone.