Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9296916 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur GT est un type de réacteur utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'un outil de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu pour déposer des couches de matériau diélectrique à très basse température sur des substrats. Le réacteur utilise une plate-forme de chauffage par induction exclusive et une chambre de procédé basse pression pour assurer un dépôt de film sûr et reproductible avec d'excellentes performances thermiques. En outre, l'outil est conçu pour une utilisation facile et un excellent débit. AMAT Producer GT est équipé d'un générateur électronique de forte puissance, d'une bobine d'induction et d'un environnement sous vide contrôlé. A l'intérieur de la chambre du réacteur, un plénum est utilisé pour distribuer le gaz de procédé. En pratique, le dépôt se produit lorsque le substrat est positionné à une distance optimale de la bobine d'induction et maintenu à l'intérieur de la chambre du réacteur. Après l'activation de la bobine d'induction, du gaz de procédé est introduit dans la chambre, créant un environnement de basse pression. Ensuite, un plasma est généré entre le substrat et la bobine d'induction, fournissant la chaleur et l'énergie nécessaires pour déposer des couches minces sur le substrat. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur GT est conçu pour déposer systématiquement des couches minces diélectriques à basse température du substrat. Les taux de dépôt du film sont augmentés par l'ajout d'une polarisation RF à la bobine d'induction, ce qui contribue à stabiliser l'émission d'électrons de la surface du substrat. Le producteur maintient également des températures aussi basses que 40 ° C, permettant une bonne facettage du film et un excellent dépôt dense conforme. En outre, l'outil est également capable de mettre à l'échelle de processus, offrant des performances de processus répétables sur une large gamme de tailles de chambre. Ceci permet d'utiliser l'outil dans la fabrication de tout substrat petit ou grand. En plus, le producteur offre une capacité impressionnante pour le dépôt de plusieurs couches minces en un seul cycle de traitement, améliorant la productivité et réduisant les coûts. En bref, Producer GT est un outil CVD robuste et fiable conçu pour une excellente performance thermique, une facilité d'utilisation et un excellent débit.