Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9351133 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur GT est un réacteur avancé de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) utilisé pour le dépôt de diélectriques, de polymères et de métaux. Il vise à accroître la capacité de production et la fiabilité, à améliorer la qualité des produits et à réduire les coûts d'exploitation. L'équipement du réacteur AMAT Producer GT combine une chambre de source, une chambre de dépôt et des contrôleurs entièrement automatisés de chambre de processus, une armoire à gaz, des commandes de zone de chauffage, un système de vide central et une unité de mesure in situ du point final (IEM) comme solution complète. Le réacteur est incroyablement flexible et peut être utilisé pour traiter un large éventail de matériaux de substrats de grande surface jusqu'à des caractéristiques de taille micron. La chambre source du PRODUCTEUR DE MATÉRIAUX APPLIQUÉS GT est équipée de plusieurs sources RF intégrées de grande puissance pour donner des taux de dépôt élevés. La machine d'injection de gaz est conçue pour fournir des rapports précis de mélange de carburant afin de contrôler la vitesse de dépôt et la limite d'interface. De multiples conduites de gaz et des régulateurs de débit de masse numériques permettent des processus complexes, tels que le fonctionnement simultané de chimies de gaz réactifs et inertes. La chambre du réacteur est conçue pour fournir uniformité et répétabilité au procédé de dépôt avec une très faible distance source-substrat pour un excellent contrôle du procédé. Une bobine électromagnétique à champ linéaire offre une grande uniformité sur une grande surface. Il dispose également d'un impressionnant mécanisme de régulation de température intégré pour fournir une uniformité de température élevée avec des zones de chauffage séparées et un retour direct de température. L'outil IEM est le contrôle ultime du dépôt de substrat, de la surveillance des paramètres de processus in situ et de la rétroaction en temps réel. Cet actif de surveillance est capable de détecter toute variation de vitesse de dépôt avec une sensibilité élevée sur une large gamme de températures. Le modèle IEM dispose également d'un équipement intégré de surveillance de l'atmosphère des chambres de dépôt pour chaque chambre de procédé autorisée. Dans l'ensemble, Producer GT est un système de PECVD automatisé et fiable qui permet d'assurer un contrôle précis des processus et une uniformité des dépôts sur de larges zones avec des taux de dépôt incroyablement rapides. Cette unité de réacteur est une option attrayante pour tout scientifique ou ingénieur nécessitant des performances et une précision élevées dans son processus de dépôt.