Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer GT #9400028 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur GT est un réacteur de dépôt diélectrique spin-on qui est utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'un équipement en une étape qui permet un dépôt diélectrique spin-on rapide de haut rapport d'aspect, des films épais de matériau pour une gamme d'applications qui nécessitent précision, uniformité et fiabilité. Le réacteur utilise un procédé à basse pression avec un transporteur de gaz inerte non réactif tel que Ar, N2 ou He. La couche de dépôt obtenue est uniforme et très fiable. Le dépôt est basé sur la production de matériau réactif « précurseur » formé par réaction chimique. Le réacteur peut être réglé pour fournir des vitesses de dépôt très faibles ou très élevées, et offre une large gamme de contrôle de couverture d'étapes et de profil de film. Il comprend également des caractéristiques avancées pour aider à minimiser les dépôts de liner, réduisant considérablement le temps total de traitement. Le système se compose de plusieurs composants, dont une chambre de dépôt multi-zones, une structure de support intérieur en carbure de silicium, une unité de distribution de gaz réactif et un mécanisme de dépôt diélectrique spin-on de haute précision. La machine est conçue pour offrir un processus entièrement automatisé, clé en main, qui permet un dépôt rentable et fiable de la couche de film. La chambre est conçue pour fournir une excellente couverture d'étape et de contrôle de profil de film, avec une gamme d'options pour réguler les paramètres du processus. L'intérieur de la chambre est optimisé pour l'uniformité et la stabilité des dépôts, avec de multiples ports de gaz, des capteurs de vide et un mécanisme de dépôt de haute précision. La structure de support intérieur en carbure de silicium est conçue pour résister à des températures allant jusqu'à 2250 ° C, et garantit le dépôt de couches minces sans contamination de surface. L'outil de distribution de gaz réactif fournit de multiples canaux de distribution pour l'acheminement précis des réactifs dans la chambre, assurant un processus de dépôt cohérent et fiable. L'actif est également équipé d'un portail avancé d'acquisition et d'analyse de données pour fournir des rapports détaillés sur divers paramètres du processus, y compris l'épaisseur, le taux de dépôt et la taille des particules. Cela permet aux utilisateurs de surveiller et de contrôler facilement le processus, assurant un dépôt de film de haute qualité. AMAT Producer GT est une plate-forme de réacteur puissante et fiable qui offre un dépôt de haute précision de matériaux à couches minces pour diverses applications critiques. Le modèle est une solution idéale pour ceux qui ont besoin de dépôt rapide, sûr et fiable de matériaux avec un contrôle serré de l'épaisseur de la couche de film, rugosité de surface, contrôle de profil, et d'autres paramètres de processus.