Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9070340 à vendre en France

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AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III
Vendu
ID: 9070340
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2002
BPSG System, 12" (3) Chambers Shrink Cassette 2002 vintage.
Un réacteur AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Producteur III est un type de système de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu pour être utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs et d'autres dispositifs. Il est idéal pour réaliser des couches de dépôt en couches minces sur un substrat à l'aide de divers précurseurs organiques, métalliques et céramiques. AMAT Producer III est conçu avec une plate-forme de levage vertical, permettant des configurations de processus multiples et des substrats jusqu'à 200 mm. Le chauffage du substrat est réalisé avec un puissant réchauffeur à démarrage rapide. Le réacteur est conçu avec une pression de base de 1x10-6 Torr et est capable d'atteindre une haute pression jusqu'à 5 Torr pour un taux de croissance optimal. Une source d'énergie hertzienne numérique intégrée est également incluse. Cette source à double fréquence peut générer des réglages de puissance flexibles qui permettent un contrôle dopant précis, une plus grande couverture de surface et une meilleure qualité du cristal dans le film obtenu. La source numérique est conçue pour réduire la susceptibilité des connexions d'alimentation et permettre une croissance de film à haut rendement. Pour assurer des vitesses de dépôt et une épaisseur de film uniformes, APPLIED MATERIALS Producer III est également conçu avec une source d'impulsions à deux fréquences capable de fournir un signal de 45 MHz et une source de plasma de 270 kHz pour une homogénéité optimale. En termes d'automatisation des processus, Producer III contient un système de contrôle des événements (ECS) avec un logiciel dédié, permettant aux utilisateurs de concevoir et d'intégrer une séquence de processus automatisée. L'ECS surveille les températures, les pressions et les niveaux d'isolement, et offre des fonctions de contrôle et de journalisation, y compris l'exécution de la recette, le contrôle étape par étape du processus et le stockage de la recette. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur III contient également un réacteur basculant pour le chargement et le déchargement sécuritaires des plaquettes. L'almorail CAE dans la plate-forme du réacteur permet un transfert d'échantillons commode et est réglable en fonction de différentes tailles de substrat. Pour assurer une sécurité maximale, AMAT Producteur III est également équipé d'une variété de garanties dans le système. Il s'agit notamment de la détection de pression, des soupapes d'échappement et d'étouffement, des systèmes d'entraînement moteur et des systèmes de purge à l'azote et à l'argon. Ces systèmes sont conçus pour maintenir des conditions de travail optimales et protéger les opérateurs et l'environnement environnant.
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