Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9238404 à vendre en France
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ID: 9238404
Style Vintage: 2000
CVD System, 8"
(3) Twin chambers
Platform: Producer S
Wafer shape: SNNF
Mainframe:
Buffer robot type: VHP
FI Robot type: Manual
Buffer robot blade: Standard blade
RYGB Status light tower
Front end type: Manual type front end
PRI BROOKS ABM407 Front end robot
VHP Buffer robot
Transfer pump: IPX Pump
Chamber slit valve / LL Door: VAT
L/L Gauge: MKS Stand
Hard disk: Stand
Floppy disk: 1.44 M
Chamber configuration:
Chamber A, B, C: Producer S BPSG Twin
Chamber parts:
Gas feedthrough assy
Gas box
Face-plate
Pressure gauge: MKS 20 Torr / MKS1000 Torr
RF Power
RPS Type: (MKS ASTeX)
Chiller: Steel-head 1
Ozone rack
Gas panel: BPSG
Vacuum system
ISO / Throttle valve: C-PLUG
Includes:
Open cassette type
VHP Robot
IPX Pump
(3) Oxide chambers
Loadlock configuration:
Cassette type: 200 mm
Fast vent option
Power supply:
Line voltage: 208 V
Full load current: 300 Amp
Frequency: 50/60 Hz
CE Marked
2000 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur III est un réacteur conçu pour la gravure et le dépôt de matériaux par dépôt chimique en phase vapeur (CVD) pour la production de plaquettes semi-conductrices III-V et quartz. C'est une machine à grande échelle dont la chambre de travail mesure 25,6 cm (10 pouces) de longueur. Le réacteur contient deux chambres principales : la source et le plasma, qui déposent des couches de matériau dans les épaisseurs souhaitées. La chambre source est équipée d'un maximum de quatre précurseurs chimiques et contient un bulleur, un élément chauffant, un distributeur, une tête de douche et un générateur RF. La chambre à plasma contient des plasmas haute fréquence qui sont générés par une antenne coaxiale placée dans le haut de la chambre. Le gaz de sortie est ensuite filtré et pompé à travers la tête de douche comme une vapeur uniforme et stable. Les particules entrent alors en collision avec la surface de la plaquette en déposant les matériaux désirés. AMAT Producer III utilise la cartographie multidimensionnelle des procédés pour contrôler précisément la vitesse de gravure de l'épaisseur de la plaquette ou de la couche. Il dispose d'un système de contrôle pour permettre des processus de gravure répétables et peut être modifié avec précision pour répondre aux besoins spécifiques des clients. Le réacteur a été conçu pour la capacité de traitement par lots et monobloc. Les sas de la chambre permettent un chargement et un déchargement aisés des plaquettes, ce qui améliore la productivité. En outre, le PRODUCTEUR DE MATÉRIAUX APPLIQUÉS III a été équipé d'une gamme complète de systèmes de protection pour assurer un fonctionnement sûr. Il s'agit notamment de la détection des gaz inflammables, de la surveillance à basse température et des systèmes d'arrêt d'urgence. En conclusion, le producteur III est un réacteur efficace et fiable utilisé pour la gravure et le dépôt des matériaux. Il utilise la cartographie multidimensionnelle des processus pour assurer un contrôle précis de la vitesse de gravure et de l'épaisseur de la couche. Il a été conçu pour les capacités de processus par lots et monobloc avec une gamme complète de caractéristiques de sécurité. Ce système réactionnel donne des résultats cohérents et de qualité pour la production de couches semi-conductrices III-V et quartz.
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