Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9240095 à vendre en France

ID: 9240095
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2004
CVD System, 8" (3) Twin chambers Platform: Producer S Wafer shape: SNNF Load lock: Cassette type, 8" Fast vent option Mainframe: Buffer robot type: VHP FI Robot type: Manual Buffer robot blade Chamber A: Producer APF Chamber B: Producer DARC Chamber C: Producer SAUSG (2) Heater exchangers: Steelhead 0 Chiller MX-500 O3 Rack Front end type: Manual Front end robot: PRI BROOKS ABM407 Buffer robot: VHP Transfer pump: IPX Pump Chamber slit valve / LL Door: VAT L/L Gauge Hard disk Floppy disk: 1.44 M Chamber A: (APF) Chamber parts: Gas feedthrough assy Gas box Face plate Heater / TC: OEM Pressure gauge: MKS 20 Torr / MKS 100 Torr RF Power: RF Generator: ADVANCED ENERGY 2000-2 V Match type: ADVANCED ENERGY Fixed match Gas panel: C3H6, Ar, He, O2 Vacuum system: Throttle valve: MKS 253B-24627 ISO Valve: MKS Chamber B: (DARC) Chamber parts: Gas feedthrough assy Gas box Face plate Heater / TC: OEM Pressure gauge: MKS 100 Torr / MKS 10 Torr RF Power: RF Generator: ADVANCED ENERGY 2000 - 2 V Match type: ADVANCED ENERGY Fixed match RPS Type: MKS ASTEX Gas panel: CO2, N2O, He, NF3, SIH4 Vacuum system: Throttle valve: MKS 253B-24627 ISO Valve: MKS Chamber C: (SAUSG) Chamber parts: Gas feedthrough assy Gas box Face plate Heater / TC: OEM Pressure gauge: MKS 20 Torr / MKS 1000 Torr RF Power: No RF generator No match RPS Type: (MKS ASTEX) Gas panel: O2, NF3, Ar, He, O3, TEOS Vacuum system: Throttle valve ISO Valve Light tower: RYGB Power: 208 V, 50/60 Hz Full load current: 240 A CE Marked 2004 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur producteur III est une machine de fabrication conçue pour produire des substrats à haute température. Il s'agit d'un réacteur avancé destiné au traitement des semi-conducteurs, des matériaux durs et des matériaux tribologiques. Le réacteur est principalement utilisé pour la recherche sur les semi-conducteurs, la production et les essais d'automatisation. Le réacteur est composé de trois chambres fonctionnant à des températures distinctes : la première chambre est conçue pour atteindre jusqu'à 2000 ° C, la deuxième chambre est programmée pour atteindre jusqu'à 1000 ° C, et la troisième chambre est capable d'atteindre jusqu'à 500 ° C Le réacteur est également équipé d'une vanne de grille qui règle la pression dans la chambre. Le réacteur Producers III est équipé d'un équipement de refroidissement avancé qui refroidit les trois chambres simultanément. Ce système de refroidissement est conçu pour réduire le temps nécessaire au démarrage du réacteur et éviter les fuites thermiques. Le réacteur Producers III possède des caractéristiques de sûreté avancées, y compris une unité de protection contre les pannes, de multiples dispositifs de sécurité et une fermeture d'urgence. Le réacteur comporte également une machine de confinement électrostatique qui isole le réacteur de l'environnement extérieur. Le réacteur est également conçu pour traiter efficacement les matériaux en utilisant l'outil de dépôt propriétaire ID AMAT qui projette un film régulier et uniforme de matériau sur le substrat. Cet actif de dépôt est capable d'atteindre les températures désirées rapidement et efficacement. Ce réacteur très avancé est capable de réaliser un large éventail de procédés tels que la nitridation, l'oxydation, le traitement thermique rapide et le dépôt. Réacteur AMAT Producteur III est un outil polyvalent et efficace qui est utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour produire des substrats.
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