Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer III #9240095 à vendre en France
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ID: 9240095
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2004
CVD System, 8"
(3) Twin chambers
Platform: Producer S
Wafer shape: SNNF
Load lock:
Cassette type, 8"
Fast vent option
Mainframe:
Buffer robot type: VHP
FI Robot type: Manual
Buffer robot blade
Chamber A: Producer APF
Chamber B: Producer DARC
Chamber C: Producer SAUSG
(2) Heater exchangers: Steelhead 0
Chiller MX-500
O3 Rack
Front end type: Manual
Front end robot: PRI BROOKS ABM407
Buffer robot: VHP
Transfer pump: IPX Pump
Chamber slit valve / LL Door: VAT
L/L Gauge
Hard disk
Floppy disk: 1.44 M
Chamber A: (APF)
Chamber parts:
Gas feedthrough assy
Gas box
Face plate
Heater / TC: OEM
Pressure gauge: MKS 20 Torr / MKS 100 Torr
RF Power:
RF Generator: ADVANCED ENERGY 2000-2 V
Match type: ADVANCED ENERGY Fixed match
Gas panel: C3H6, Ar, He, O2
Vacuum system:
Throttle valve: MKS 253B-24627
ISO Valve: MKS
Chamber B: (DARC)
Chamber parts:
Gas feedthrough assy
Gas box
Face plate
Heater / TC: OEM
Pressure gauge: MKS 100 Torr / MKS 10 Torr
RF Power:
RF Generator: ADVANCED ENERGY 2000 - 2 V
Match type: ADVANCED ENERGY Fixed match
RPS Type: MKS ASTEX
Gas panel: CO2, N2O, He, NF3, SIH4
Vacuum system:
Throttle valve: MKS 253B-24627
ISO Valve: MKS
Chamber C: (SAUSG)
Chamber parts:
Gas feedthrough assy
Gas box
Face plate
Heater / TC: OEM
Pressure gauge: MKS 20 Torr / MKS 1000 Torr
RF Power:
No RF generator
No match
RPS Type: (MKS ASTEX)
Gas panel: O2, NF3, Ar, He, O3, TEOS
Vacuum system:
Throttle valve
ISO Valve
Light tower: RYGB
Power: 208 V, 50/60 Hz
Full load current: 240 A
CE Marked
2004 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur producteur III est une machine de fabrication conçue pour produire des substrats à haute température. Il s'agit d'un réacteur avancé destiné au traitement des semi-conducteurs, des matériaux durs et des matériaux tribologiques. Le réacteur est principalement utilisé pour la recherche sur les semi-conducteurs, la production et les essais d'automatisation. Le réacteur est composé de trois chambres fonctionnant à des températures distinctes : la première chambre est conçue pour atteindre jusqu'à 2000 ° C, la deuxième chambre est programmée pour atteindre jusqu'à 1000 ° C, et la troisième chambre est capable d'atteindre jusqu'à 500 ° C Le réacteur est également équipé d'une vanne de grille qui règle la pression dans la chambre. Le réacteur Producers III est équipé d'un équipement de refroidissement avancé qui refroidit les trois chambres simultanément. Ce système de refroidissement est conçu pour réduire le temps nécessaire au démarrage du réacteur et éviter les fuites thermiques. Le réacteur Producers III possède des caractéristiques de sûreté avancées, y compris une unité de protection contre les pannes, de multiples dispositifs de sécurité et une fermeture d'urgence. Le réacteur comporte également une machine de confinement électrostatique qui isole le réacteur de l'environnement extérieur. Le réacteur est également conçu pour traiter efficacement les matériaux en utilisant l'outil de dépôt propriétaire ID AMAT qui projette un film régulier et uniforme de matériau sur le substrat. Cet actif de dépôt est capable d'atteindre les températures désirées rapidement et efficacement. Ce réacteur très avancé est capable de réaliser un large éventail de procédés tels que la nitridation, l'oxydation, le traitement thermique rapide et le dépôt. Réacteur AMAT Producteur III est un outil polyvalent et efficace qui est utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour produire des substrats.
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