Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #177862 à vendre en France
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Vendu
ID: 177862
System, SABPSG
Front End: Manual FE
Buffer pump: IPX100
Wafer sensor: WPS
Chamber position: A, B, C
Chambers A, B, C:
Lift assembly Installed
Pressure gauge Installed
RFG AE RFG-2000
RPS MKS FI20620
P-kit Installed
Ozone rack: Yes
Gas panel
SLD: Yes
MFC UNIT 8161/8160
Transducer MKS w/o display
Line L3 Empty
Line L2 Empty
Line L1 Empty
Line 1 O3
Line 2 O2 20 slm
Line 3 N2
Line 4 NF3 10 slm
Line 5 N2 5 slm
Line 6 Ar 20 slm
Line 7 Empty
Line 8 He 20 slm
Line 9 N2 20 slm
Line 10 N2 purge
Line R1 Empty
Line R2 Empty
Line R3 Empty
PLIS:
TEOS Yes
TEPO x (line ready)
TEB x (line ready)
Liquid line Yes
2002 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur S est un outil modulaire monobloc à haut débit utilisé pour les procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et de dépôt en couche atomique (ALD). L'outil a un design compact, lui permettant de s'adapter facilement dans des espaces de fabrication plus petits. Il dispose également d'une large gamme de températures, lui permettant de s'adapter à tous les besoins de production. AMAT PRODUCERS est conçu avec des mesures de sécurité et de réduction de la pollution de haut niveau. Il dispose d'un équipement intégré de contrôle en boucle fermée qui ajuste automatiquement les niveaux de production, les paramètres de processus et la température pour éviter les dépassements et maintenir la production cohérente. Le système de contrôle automatisé réduit également le risque d'erreurs de l'opérateur pendant la production. LE PRODUCTEUR-S DE MATÉRIAUX APPLIQUÉS fonctionne sur une configuration de chambre de processus à deux chambres. La première chambre de procédé est conçue pour traiter différents types de matériaux, tandis que la seconde chambre de procédé est utilisée pour nettoyer le substrat avant le dépôt de couches minces. Les deux chambres peuvent être chauffées simultanément, ce qui permet une production plus rapide. AMAT Producer S est équipé d'une unité d'automatisation avancée, permettant un contrôle précis de tous les aspects du processus de production. L'outil peut être utilisé à la fois en mode manuel et en mode automatisé. Il est également équipé d'une machine de commande de mouvement de pointe, qui peut commander le déplacement du porte-substrat et de la buse de l'injecteur de matériau source CVD/ALD. AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER-S offre une variété de caractéristiques qui aident à réduire les coûts et à améliorer la fabrication. Il dispose d'un bras robotique pour le chargement et le déchargement des substrats et d'un logiciel de planification et d'optimisation. Le bras robot aide à réduire le potentiel d'erreurs causées par l'erreur humaine, tandis que l'actif logiciel aide à réduire les temps d'arrêt. PRODUCER-S est un outil fiable et efficace pour produire des couches minces. Avec son modèle d'automatisation avancé et ses mesures de sécurité, il offre une solution rentable pour les besoins de dépôt de couches minces.
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