Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #9003816 à vendre en France
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Vendu
ID: 9003816
System, 12"
Chamber A Twin BPSG
Chamber B Twin BPSG
Chamber C Twin BPSG
Wafer shape: SNNF
SMIF interface: no
Chamber A:
Frequency: None
Manometer: 20/1000 Torr
Clean type (rpc): Astex
Dpa: No
Chamber B:
Frequency: None
Manometer: 20/1000 Torr
Clean type (rpc): Astex
Dpa: No
Chamber C:
Frequency: None
Manometer: 20/1000 Torr
Clean type (rpc): Astex
Dpa: No
Electrical requirements:
Line Frequency: 60 Hz
Line Voltage: 200/208 V
Line Amperage: 240 A
Facility ups interface : Yes
System monitor:
1st Monitor: Through the wall
2nd Monitor: Standalone
3rd Monitor: None
Mainframe:
Mainframe Type: Shrinkage
Robot Type: VHP dual
Loadlock Cassette: Manual 2 cassette
SMIF: No
SMIF Robot: NA
Ozone generator:
Chamber A: AX8400
Chamber B: AX8406B
Chamber C: AX8406B
Dry pumps:
Chamber A: -
Chamber B: -
Chamber C: -
Loadlock: IPX100
VME rack:
SBC: Yes
VGA: Yes
MEI #1: Yes
MEI #2: Yes
I/O EXPAN.: Yes
Monitor Select: Yes
Floppy: Yes
HDD: Yes
Gas delivery:
MFC Type: STEC 410A (LFM), Unit C8161
Valves: Fujikin 5 Ra max
Filters: Millipore
Transducers: MKS without display
Regulators: Parker
Single Line Drop (SLD): No
SLD Gas Lines Feed: Top feed
System Cabinet Exhaust: Top
Gas pallet configuration:
CH.A SIZE MODEL
O2 30 SLM UFC 8161
NF3 5 SLM UFC 8161
AR 5 SLM UFC 8161
HE 30 SLM UFC 8161
N2 30 SLM UFC 8161
TEOS 7000 LF-410A-EVD
TEB 1500 LF-310A-EVD
TEPO 500 LF-310A-EVD
CH.B SIZE MODEL
O2 30 SLM UFC 8161
NF3 5 SLM UFC 8161
AR 5 SLM UFC 8161
HE 30 SLM UFC 8161
N2 30 SLM UFC 8161
TEOS 7000 LF-410A-EVD
TEB 1500 LF-310A-EVD
TEPO 500 LF-310A-EVD
CH.C SIZE MODEL
O2 30 SLM UFC 8161
NF3 5 SLM UFC 8161
AR 5 SLM UFC 8161
HE 30 SLM UFC 8161
N2 30 SLM UFC 8161
TEOS 7000 LF-410A-EVD
TEB 1500 LF-310A-EVD
TEPO 500 LF-310A-EVD
Includes:
(2) Ceramic Heater
(2) Ceramic Heater
(2) Ceramic Heater
Buffer Chamber, Chamber A
EFEM
(3) Cermic Liner, NF3 Gas Line
(1) Signal Cable, Exhase flange, Photo helic
Monitor Panel
(2) RPS Ass'y
(2) RPS Ass'y
(2) RPS Ass'y
Load Lock Pump
(6) AL Pumping Ring, Ceramic Pumping Ring
Monitor
Monitor
Chamber B
Chamber C
Temp Controller
(6) AL Shower Head, AL Blocker Plate
(6) AL Lid Ass'y
(6) Ceramic Pumping Ring
(3) AL Lid Block
(6) Top Ceramic Ring
Ch C Foreline, Mux Controller
Producer M,RF AC
O3 Cabinet
AC Rack
A-Chamber Cover
B-Chamber Cover
2001 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur S est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) de qualité industrielle. Il est conçu pour déposer des films minces de haute performance sur des plaquettes/substrats de diamètres jusqu'à 200 mm. Il se compose d'une chambre fermée et d'un ensemble de sources de processus qui font réagir les précurseurs dans un plasma à pression atmosphérique non thermique. Ce plasma, créé par la technologie ADT (Atmospheric Direct-Current), améliore les interactions de surface en décomposant les précurseurs en fragments plus petits qui peuvent être répartis plus uniformément sur la surface de la plaquette. Le plasma est également essentiel pour assurer une température de procédé uniforme, nécessaire pour un dépôt de film de haute qualité en CVD. La source de procédé comprend également des lampes halogènes haute fréquence et des éléments chauffants à quartz pour assurer une répartition uniforme des températures à l'intérieur de la chambre. La répartition uniforme de la température garantit la fiabilité et la reproductibilité dans la production de films minces. Cela est particulièrement important dans des domaines tels que les applications de semi-conducteurs et de nanotechnologie où une qualité de film élevée est nécessaire. Outre ses températures uniformes et ses dépôts de couches minces fiables et reproductibles, AMAT PRODUCERS présente d'autres avantages. Par exemple, la source de chaleur du plasma peut être changée sans interrompre le processus, ce qui permet un débit élevé avec des effets thermiques minimes sur la plaquette. Il a également un temps de cycle rapide allant jusqu'à 30 minutes, une capacité de chargement élevée de 30 plaquettes, et un faible coût de propriété. Enfin, APPLIED MATERIALS PRODUCER-S est équipé d'une interface utilisateur graphique intuitive (GUI), ce qui le rend facile et convivial à utiliser et à entretenir. Cette interface graphique est également optimisée avec des recettes efficaces pour atteindre le succès dans divers domaines d'application et un système de surveillance pour le matériel et les paramètres de processus tels que le niveau de vide et la vitesse de dépôt.
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