Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #9251468 à vendre en France
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ID: 9251468
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
CVD System, 8"
Shrink type
(2) Twin chambers
Controller: Legacy type
L/L and Xfer pump: EDWARDS IPX
Chiller: Steel head
AC Box
UPS
Chamber A and B:
Process: P-TEOS (PSG)
RF: ADVANCED ENERGY RFG2000-2V
LF: ENI QUANTA-10
RPS: ASTRON 2L (F120620-1)
Chamber A:
Gas panel:
Gas / Max flow / Make / Model
He / 5 slm / UNIT / UFC-8160
PH3 / 1 slm / UNIT / UFC-8160
NF3 / 3 slm / UNIT / UFC-8160
Ar / 5 slm / UNIT / UFC-8160
O2 / 5 slm / UNIT / UFC-8160
N2O / 2 slm / STEC / SEC-4400
SiF4 / 2 slm / STEC / SEC-4400
TEOS / 4 g/min / STEC / LF-410-EVP
TEPO / 0.2 g/min / STEC / LF-310A-EVP
Chamber B:
Gas panel:
Gas / Max flow / Maker / Model
He / 5 slm / UNIT / UFC-8160
PH3 / 1 slm / UNIT / UFC-8160
NF3 / 1 slm / UNIT / UFC-8160
Ar / 5 slm / UNIT / UFC-8160
O2 / 5 slm / UNIT / UFC-8160
TEOS / 4 g/min / ST EC / LF-410A-EVP
TEPO / 0.2 g/min / STEC / LF-310A-EVP
2000 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur S est un réacteur à dépôt spin-on (SOD) conçu pour la production de dispositifs CI et d'autres composants. Il peut être utilisé pour la production en grand volume de circuits intégrés, de dispositifs MEMS et d'autres composants optoélectroniques. Le réacteur AMAT PRODUCERS est spécifiquement conçu pour fournir une large gamme de températures, de pressions et de flux de gaz, permettant aux utilisateurs d'obtenir des conditions de processus optimisées pour une gamme de matériaux. Le réacteur APPLIED MATERIALS PRODUCER-S dispose d'un équipement avancé de grappe à haut débit qui permet un fonctionnement continu du début à la fin du processus de fabrication de l'appareil tout en fournissant des résultats d'imagerie uniformes et reproductibles. Le réacteur S est équipé d'un injecteur de gaz à deux rangées et d'un système de mélange à faible débit, qui améliorent à la fois la température et le contrôle de pression pour un dépôt précis de couches minces. Il dispose également d'une unité intégrée de surveillance et de contrôle de la température pour obtenir un dépôt de couches minces supérieur. La machine se compose d'une chambre d'identification chauffée, d'un élément chauffant à température sélectionnable, d'un plénum de convection et d'une pompe à vide pour maintenir les pressions désirées. Le réacteur S est conçu pour assurer des niveaux élevés de productivité et de rendement tout en maintenant un contrôle serré des paramètres du procédé. Il peut être utilisé pour la production avancée de dispositifs CI, y compris les structures 3D, qui nécessitent le dépôt de matériaux avec une uniformité et une répétabilité précises. L'outil de contrôle utilise un algorithme de cartographie ASCODE pour s'assurer que toutes les conditions du processus sont maintenues tout au long de l'exécution. L'atout comprend également une boucle de rétroaction logicielle pour contrôler le fonctionnement du réacteur. Le réacteur AMAT PRODUCER-S est un outil puissant et fiable pour la fabrication de dispositifs IC et d'autres composants avec un débit élevé, un faible coût de possession et un excellent contrôle des procédés. Le modèle est capable de produire des IC de haute qualité à un faible coût de propriété en raison de son faible coût d'acquisition et d'exploitation. Il est également bien adapté pour une utilisation dans la recherche et le développement, ainsi que la fabrication à grande échelle de composants pour des applications commerciales.
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