Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #9291526 à vendre en France

ID: 9291526
Style Vintage: 2005
CVD System, 8" (2) PECVD SiN PECVD TEOS (3) Twin chambers Wafer shape: SNNF No SMIF interface Chamber: A twin: PE OX SIN ARC APF B twin: PE OX TEOS SIN ARC C twin: PE OX SIN ARC APF Chamber A: Single frequency Manometer: 10/100 Torr Clean type (RPC): ASTEX No DPA Chamber B: Single frequency Manometer: 10/100 Torr Clean type (RPC): ASTEX No DPA Chamber C: Single frequency Manometer: 10/100 Torr Clean type (RPC): ASTEX No DPA System monitors: Through the wall Mainframe Mainframe type: Shrinkage Robot type: Dual VHP Load cassette: Manual (2) cassettes No SMIF VME Racks: SBC VGA MEI1 MEI2 I/O Expan Monitor Floppy Disk Drive (FDD) No Hard Disk Drive (HDD) Gas delivery: MFC Type: AERA D980 / BROOKS 6256S FUJIKIN 5 Ra Max valves Transducer: MKS With display Regulators: PARKER Single Line Drop (SLD) SLD Gas line feeds: Top feed Gas pallet: Chamber A: Make / Model / Size / Gas BROOKS / 6256s / 2 SLPM / O2 AERA / FC-D980C / 1 SLM / SiF4 BROOKS / 6256s / 10 SLPM / N2O BROOKS / 6256s / 400 SCCM / NH3 BROOKS / 6256s / 10 SLPM / N2 BROOKS / 6256s / 500 SCCM / SH4 BROOKS / 6256s / 2 SLPM / (CH3)3SiH BROOKS / 6256s / 3 SLPM / He BROOKS / 6256s / 3 SLPM / NF3 BROOKS / 6256s / 5 SLPM / Ar Chamber B: AERA / FC-D981C / 20 SLM / N2O BROOKS / 6256s / 500 SCCM / N2O BROOKS / 6256s / 5 SLPM / O2 BROOKS / 6256s / 200 SCCM / SIF4 MYKROLIS / FC-2902MEP-T / 500 SCCM / SH4 BROOKS / 6256s / 10 SLPM / N2 BROOKS / 6256s / 5 SLPM / He AERA / FC-D981C / 400 SCCM / NH3 BROOKS / 6256s / 3 SLPM / NF3 BROOKS / 6256s / 5 SLPM / Ar HORIBA / 4 g/min / TEOS Chamber C: BROOKS / 6256s / 2 SLPM / O2 BROOKS / 6256s / 200 SCCM / SiF4 AERA / FC-D980C / 20SLM / N2O BROOKS / 6256s / 400 SCCM / NH3 BROOKS / 6256s / 10 SLPM / N2 BROOKS / 6256s / 500 SCCM / SH4 BROOKS / 6256s / 2 SLPM / (CH3)3SiH BROOKS / 6256s / 3 SLPM / He BROOKS / 6256s / 2 SLPM / NF3 BROOKS / 6256s / 5 SLPM / Ar Electrical requirements: Line frequency: 50/60 Hz Line voltage: 200/208 V Line amperage: 240 A 2005 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur S est un équipement avancé utilisé dans la fabrication de circuits intégrés et d'autres composants semi-conducteurs. Il s'agit d'un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) à haute température qui permet la production de volumes élevés d'électronique intégrée. AMAT PRODUCERS est un système multifonctionnel adapté à une gamme d'applications de post-traitement, y compris CVD, dépôt de couche atomique (ALD) et dépôt physique en phase vapeur (PVD). LE PRODUCTEUR DE MATÉRIAUX APPLIQUÉS S a une conception symétrique de chambre en céramique qui crée un environnement idéal pour le dépôt de polymères, d'oxydes et de métaux. Il peut être utilisé à des températures allant jusqu'à 1000 ° C dans un environnement azoté ou oxygéné et la chambre est conçue pour une épaisseur de film et un contrôle thermique uniformes. La chambre comporte également une source intégrée de plasma hyperfréquence destinée à préserver la qualité et la cohérence des films déposés. AMAT Producer S est équipé d'une unité d'efficacité finale robotisée et d'une collection de commandes de gaz qui peuvent être précisément composées pour les procédés désirés. Les multiples capacités de diagnostic in situ, y compris un spectromètre à émission optique (OES), analysent les dépôts de matériaux et optimisent la performance des films dans divers processus. Une option supplémentaire d'un réchauffeur à substrat incliné est disponible pour faciliter les films avec une plus grande uniformité. Tous les composants sont logés dans une seule enceinte et peuvent être consultés grâce à sa conception modulaire, permettant un entretien rapide et efficace. La machine est également équipée de logiciels intuitifs et de fonctionnalités conviviales. Il facilite l'accès aux données de processus en temps réel, la modélisation prédictive et les capacités d'optimisation des processus. Les paramètres de fonctionnement peuvent être rapidement modifiés et ajustés afin d'obtenir les résultats souhaités. Le logiciel intégré permet également un accès à distance, offrant une flexibilité accrue et des capacités de surveillance. AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER-S est un outil CVD robuste et hautement capable, offrant une qualité supérieure et un débit élevé pour une gamme d'applications de post-traitement. Sa conception symétrique de chambre en céramique permet un dépôt uniforme de polymères, d'oxydes et de métaux, offrant un environnement contrôlé pour le processus de dépôt chimique en phase vapeur à haute température. L'amélioration des capacités de mélange des gaz et la multiplication des diagnostics in situ garantissent que les dépôts de matériaux sont cohérents et de bonne qualité, ce qui contribue à minimiser les pertes de déchets. Sa conception modulaire et son logiciel intuitif offrent également un suivi en temps réel, ce qui en fait un choix idéal pour la fabrication de circuits intégrés.
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