Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer S #9291526 à vendre en France
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ID: 9291526
Style Vintage: 2005
CVD System, 8"
(2) PECVD SiN
PECVD TEOS
(3) Twin chambers
Wafer shape: SNNF
No SMIF interface
Chamber:
A twin:
PE OX
SIN
ARC
APF
B twin:
PE OX
TEOS
SIN
ARC
C twin:
PE OX
SIN
ARC
APF
Chamber A:
Single frequency
Manometer: 10/100 Torr
Clean type (RPC): ASTEX
No DPA
Chamber B:
Single frequency
Manometer: 10/100 Torr
Clean type (RPC): ASTEX
No DPA
Chamber C:
Single frequency
Manometer: 10/100 Torr
Clean type (RPC): ASTEX
No DPA
System monitors: Through the wall
Mainframe
Mainframe type: Shrinkage
Robot type: Dual VHP
Load cassette: Manual (2) cassettes
No SMIF
VME Racks:
SBC
VGA
MEI1
MEI2
I/O Expan
Monitor
Floppy Disk Drive (FDD)
No Hard Disk Drive (HDD)
Gas delivery:
MFC Type: AERA D980 / BROOKS 6256S
FUJIKIN 5 Ra Max valves
Transducer: MKS With display
Regulators: PARKER
Single Line Drop (SLD)
SLD Gas line feeds: Top feed
Gas pallet:
Chamber A:
Make / Model / Size / Gas
BROOKS / 6256s / 2 SLPM / O2
AERA / FC-D980C / 1 SLM / SiF4
BROOKS / 6256s / 10 SLPM / N2O
BROOKS / 6256s / 400 SCCM / NH3
BROOKS / 6256s / 10 SLPM / N2
BROOKS / 6256s / 500 SCCM / SH4
BROOKS / 6256s / 2 SLPM / (CH3)3SiH
BROOKS / 6256s / 3 SLPM / He
BROOKS / 6256s / 3 SLPM / NF3
BROOKS / 6256s / 5 SLPM / Ar
Chamber B:
AERA / FC-D981C / 20 SLM / N2O
BROOKS / 6256s / 500 SCCM / N2O
BROOKS / 6256s / 5 SLPM / O2
BROOKS / 6256s / 200 SCCM / SIF4
MYKROLIS / FC-2902MEP-T / 500 SCCM / SH4
BROOKS / 6256s / 10 SLPM / N2
BROOKS / 6256s / 5 SLPM / He
AERA / FC-D981C / 400 SCCM / NH3
BROOKS / 6256s / 3 SLPM / NF3
BROOKS / 6256s / 5 SLPM / Ar
HORIBA / 4 g/min / TEOS
Chamber C:
BROOKS / 6256s / 2 SLPM / O2
BROOKS / 6256s / 200 SCCM / SiF4
AERA / FC-D980C / 20SLM / N2O
BROOKS / 6256s / 400 SCCM / NH3
BROOKS / 6256s / 10 SLPM / N2
BROOKS / 6256s / 500 SCCM / SH4
BROOKS / 6256s / 2 SLPM / (CH3)3SiH
BROOKS / 6256s / 3 SLPM / He
BROOKS / 6256s / 2 SLPM / NF3
BROOKS / 6256s / 5 SLPM / Ar
Electrical requirements:
Line frequency: 50/60 Hz
Line voltage: 200/208 V
Line amperage: 240 A
2005 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur S est un équipement avancé utilisé dans la fabrication de circuits intégrés et d'autres composants semi-conducteurs. Il s'agit d'un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) à haute température qui permet la production de volumes élevés d'électronique intégrée. AMAT PRODUCERS est un système multifonctionnel adapté à une gamme d'applications de post-traitement, y compris CVD, dépôt de couche atomique (ALD) et dépôt physique en phase vapeur (PVD). LE PRODUCTEUR DE MATÉRIAUX APPLIQUÉS S a une conception symétrique de chambre en céramique qui crée un environnement idéal pour le dépôt de polymères, d'oxydes et de métaux. Il peut être utilisé à des températures allant jusqu'à 1000 ° C dans un environnement azoté ou oxygéné et la chambre est conçue pour une épaisseur de film et un contrôle thermique uniformes. La chambre comporte également une source intégrée de plasma hyperfréquence destinée à préserver la qualité et la cohérence des films déposés. AMAT Producer S est équipé d'une unité d'efficacité finale robotisée et d'une collection de commandes de gaz qui peuvent être précisément composées pour les procédés désirés. Les multiples capacités de diagnostic in situ, y compris un spectromètre à émission optique (OES), analysent les dépôts de matériaux et optimisent la performance des films dans divers processus. Une option supplémentaire d'un réchauffeur à substrat incliné est disponible pour faciliter les films avec une plus grande uniformité. Tous les composants sont logés dans une seule enceinte et peuvent être consultés grâce à sa conception modulaire, permettant un entretien rapide et efficace. La machine est également équipée de logiciels intuitifs et de fonctionnalités conviviales. Il facilite l'accès aux données de processus en temps réel, la modélisation prédictive et les capacités d'optimisation des processus. Les paramètres de fonctionnement peuvent être rapidement modifiés et ajustés afin d'obtenir les résultats souhaités. Le logiciel intégré permet également un accès à distance, offrant une flexibilité accrue et des capacités de surveillance. AMAT/APPLIED MATERIALS PRODUCER-S est un outil CVD robuste et hautement capable, offrant une qualité supérieure et un débit élevé pour une gamme d'applications de post-traitement. Sa conception symétrique de chambre en céramique permet un dépôt uniforme de polymères, d'oxydes et de métaux, offrant un environnement contrôlé pour le processus de dépôt chimique en phase vapeur à haute température. L'amélioration des capacités de mélange des gaz et la multiplication des diagnostics in situ garantissent que les dépôts de matériaux sont cohérents et de bonne qualité, ce qui contribue à minimiser les pertes de déchets. Sa conception modulaire et son logiciel intuitif offrent également un suivi en temps réel, ce qui en fait un choix idéal pour la fabrication de circuits intégrés.
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