Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #135489 à vendre en France
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Vendu
ID: 135489
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1999
CVD system, 8"
Process: HT NIT
Wafer shape: JMF
Wafer size: 8"
Producer type: long mainframe
SMIF: manual
System placement: through the wall
Chambers:
Chamber A: HT NIT
Chamber B: HT NIT
Chamber A:
Heater: ceramic
Clean method: remote plasma
Frequency: dual HF and LF
Manometer: dual 10 / 100 Torr
Chamber B:
Heater: ceramic
Clean method: remote plasma
Frequency: dual HF and LF
Manometer: dual 10 / 100 Torr
Beat exchanger: Steelhead 0
HF generators:
Chamber A: V-(RFG2000-2V)
Chamber B: V-(RFG2000-2V)
LF generators:
Chamber A: V-(DPG-10)
Chamber B: V-(DPG-10)
Mainframe:
Type: Producer long
SMIF: manual
Electrical requirements:
Line frequency: 50 / 60 Hz
Line voltage: 200 / 208V
Line amperage: 400A
System monitor: 1st and 2nd monitors
System placement: through-the-wall
Gas delivery:
MFC type: STEC 4400MC
Valves: FUJIKIN 5 Ra Max
Filters: MOTT
Transducer: MKS without display
Regulators: VERIFLO
Chamber A gases:
N2O, 500 sccm
N20, 5 slm
NH3, 300 sccm
N2, 10 slm
SiH4, 500 sccm
SiH4, 1 slm
Ar, 5 slm
NF3, 3 slm
Chamber B gases:
N2O, 500 sccm
N20, 5 slm
NH3, 300 sccm
N2, 10 slm
SiH4, 500 sccm
SiH4, 1 slm
Ar, 5 slm
NF3, 3 slm
Can be inspected
1999 vintage.
AMAT AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur est un réacteur de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu pour le dépôt de couches minces afin d'améliorer la performance et la durabilité du substrat. Ce réacteur CVD est équipé d'une électrode verticale innovante de type soufflet, qui permet le dépôt précis et cohérent de couches minces sur une grande variété de substrats, allant des matériaux semi-conducteurs aux métaux. La configuration verticale de l'électrode offre également une meilleure uniformité de dépôt, ce qui conduit à un meilleur contrôle de l'épaisseur du revêtement et à des rendements plus élevés. AMAT Producer est équipé d'une chambre Twin de 2 mètres, qui facilite la production de plaquettes double face et peut traiter jusqu'à quatre plaquettes d'épaisseur variable simultanément. Cette chambre de réaction CVD utilise également un équipement d'évidement thermique rapide, qui est un nouveau procédé PVD produisant des revêtements de dépôt de couche atomique (ALD) ou MIPT-ALD en une fraction du temps d'autres procédés classiques de production de couches minces. MATÉRIAUX APPLIQUÉS MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur offre polyvalence et flexibilité, permettant aux utilisateurs de traiter divers substrats avec une large gamme d'épaisseur de film. Il permet également plusieurs re-revêtements de plaquettes simples et empilage de plaquettes pour un débit optimal. Son système efficace de positionnement des plaquettes couplé à la capacité de mélange multi-gaz améliore encore l'uniformité et la reproductibilité des dépôts. En outre, la chambre de réaction CVD assure des résultats de processus reproductibles sans réemballage, en utilisant une répartition uniforme de la température, un contrôle de la pression et une fiabilité supérieure dans le temps. AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur dispose d'une interface graphique intuitive qui permet aux utilisateurs de surveiller le processus de dépôt et l'état de l'unité en temps réel. Ce réacteur CVD dispose également d'une télécommande intuitive qui permet aux utilisateurs de surveiller et de contrôler le fonctionnement de l'outil depuis un endroit distant. De plus, des outils de diagnostic sont inclus pour assurer la compatibilité des processus et des actifs, tandis que des dispositifs de sécurité intégrés protègent l'intégrité de fonctionnement du modèle en cas de conditions inattendues. En résumé, AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Le réacteur CVD producteur est un équipement avancé de dépôt chimique de haute puissance conçu pour améliorer la performance et la durabilité du substrat. Ce réacteur CVD est équipé d'une technologie robuste et de contrôles intuitifs, ce qui en fait une solution fiable et efficace pour le dépôt de substrat. Avec son design polyvalent et flexible, sa fiabilité à la pointe du temps et son interface graphique sophistiquée, AMAT Producer offre aux utilisateurs la flexibilité nécessaire pour prospérer sur un marché dynamique.
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