Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #293824606 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur est un réacteur de dépôt sous vide de qualité industrielle spécialement conçu pour le dépôt en couches minces et l'intégration des procédés. Ce réacteur est interfacé avec une variété de technologies et de capacités de dépôt en couches minces telles que le dépôt physique en phase vapeur, le dépôt par pulvérisation, le dépôt chimique en phase vapeur et le dépôt en couche atomique. Il possède plusieurs caractéristiques, telles que des paniers de sources multiples, un pyromètre in situ et un moniteur plasma de fin de course multipoint (EOR). Il est également capable de fournir jusqu'à 2.400 watts de puissance. AMAT Producer se compose de plusieurs sous-systèmes, dont une chambre à vide, des pompes à vide et des sources d'énergie et de procédés. La chambre à vide est équipée d'un viseur et contient un suscepteur télescopique modulaire pouvant accueillir jusqu'à 8 plaquettes et de petits échantillons. Les pompes à vide sont conçues pour assurer un contrôle précis de la pression et sont utilisées pour évacuer la chambre et maintenir une pression prédéterminée. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La gamme de sources de procédés du producteur comprend à la fois les magnétrons DC et RF, utilisés respectivement pour le dépôt par pulvérisation et les procédés de gravure ionique réactive (RIE). Le magnétron continu est une source autonome qui est montée à l'intérieur, tandis que le magnétron RF est monté à l'extérieur et des interfaces avec l'alimentation principale. La source d'énergie, qui fournit jusqu'à 2 400 watts de puissance RF, est modulaire et équipée de dispositions pour l'accord et l'adaptation de la source RF. Le pyromètre interne assure la surveillance in situ de la température des plaquettes pendant le dépôt, tandis que le moniteur de plasma EOR permet à l'opérateur d'évaluer le point final du processus de dépôt. Cela permet à l'opérateur d'affiner les paramètres de dépôt et d'optimiser le processus. Le producteur est également intégré à une gamme de composants permettant le refroidissement des parois de la chambre, ainsi qu'à un système actif de contrôle environnemental pour surveiller et contrôler la température du substrat et la propreté de la chambre. AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur est un réacteur efficace, polyvalent et convivial qui fournit d'excellentes solutions de dépôt de couches minces pour une gamme d'applications en microélectronique. Il est facile à utiliser et offre la flexibilité nécessaire pour passer d'un processus à un autre, ce qui permet une excellente répétabilité et reproductibilité du processus. Globalement, ce réacteur est un excellent choix pour ceux qui ont besoin d'un système de dépôt de couches minces fiable et robuste.