Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9111149 à vendre en France
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Vendu
ID: 9111149
CVD System, 12"
(3) Chambers
(4) Load Ports
EFM: Kawasaki Robot 30D61H-A002
TM: Brooks Mag 8, P/N: 0190-25011
AE APEX 3013, P/N: 3156114-006
MKS ASTRONex
Currently in cleanroom
2007 vintage.
A AMAT/APPLIED MATERIALS Producer, également connu sous le nom d'AMAT Producer, est un réacteur avancé de diffusion et d'épitaxie utilisé dans la fabrication d'une gamme de technologies, des dispositifs semi-conducteurs aux cellules solaires. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur est conçu pour créer des films minces très précis et reproductibles, ainsi que pour réduire les temps de cycle et assurer l'uniformité des processus. Le réacteur est construit avec des chambres plus grandes que les outils traditionnels, ce qui permet d'améliorer le débit et de réaliser plusieurs procédés en parallèle. Le réacteur utilise la technologie UHV (haute température, ultra-haute dépression), utilisant une source de chauffage telle qu'un faisceau d'électrons pour délivrer de la chaleur à des températures et épaisseur précises afin de créer la structure en couches minces souhaitée sur la plaquette. La plaquette est d'abord placée dans une chambre UHV dans un support, puis les bobines de chauffage sont utilisées pour la chauffer à la température requise. Après chauffage de la plaquette, on utilise une source basse pression pour diffuser une introduction appropriée de gaz ou de matière condensée comme l'arsenic ou le phosphore. Ce gaz ou matériau agit comme dopant, qui diffuse ensuite à travers le film déposé pour former la structure désirée. Ce processus présente des avantages tels que des temps de cycle plus rapides, un meilleur contrôle du processus et une plus grande cohérence dans la répétabilité produit-produit. Le producteur est bien adapté aux procédés utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs, où la croissance en couches minces et le dopage sont nécessaires. AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur peut également être utilisé pour créer des films avec une large gamme d'épaisseurs, ainsi que des films avec rugosité et caractéristiques de fusion. Cela permet de fabriquer une variété de dispositifs tels que : transistors, diodes, émetteurs-récepteurs et puces mémoire semi-conductrices. La flexibilité accrue, la technologie à basse pression et la répétabilité d'AMAT Producer en font un outil précieux pour la recherche et le développement de nouvelles technologies. Ses capacités et ses avancées technologiques peuvent être utilisées pour diverses fonctions et procédés, ce qui fait des MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur un élément indispensable de la technologie de fabrication.
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