Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9204130 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Le producteur est un réacteur à grande échelle et à haute performance conçu pour le dépôt chimique en phase vapeur de tungstène (CVD) et le pré- et post-traitement de couches de tungstène utilisées dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Ce réacteur est conçu pour délivrer des couches de tungstène verticalement uniformes et exemptes de défauts sur une variété de substrats. Le fabricant de matériaux AMAT est conçu avec un grand diamètre de susceptor, permettant un dépôt uniforme de 720 mm et l'élimination de la non-uniformité. Ce réacteur dispose également d'un contrôle uniforme de la température du suscepteur, permettant de régler des températures indépendantes de part et d'autre de la plaquette. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Producteur est également conçu avec un moniteur de faisceau lumineux qui fournit une surveillance en temps réel du processus de dépôt. En ce qui concerne sa capacité à traiter plusieurs types de matériaux, le producteur de matériaux est capable de déposer, graver et nettoyer les CVD par des réactions développées avec une variété de gaz réactifs. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur a été conçu pour soutenir les stratégies et les processus à base de tungstène, fournissant la capacité de traiter une variété de substrats de tungstène, tels que le cuivre, le tungstène de cuivre, le molybdène et le dioxyde de silicium. AMAT Producer est un réacteur de configuration multi-chambres, avec deux chambres : la chambre de procédé et la chambre de source de gaz. La chambre de procédé comprend une source d'énergie RF basse pression, une chambre de réaction, deux suscepteurs indépendants, une unité de charge de type chambre et une chambre à vide. La chambre de source de gaz se compose de ports pour contrôler la pression et le débit de gaz, d'une bobine, d'un séchoir et d'un régulateur pour régler la puissance et les conditions de réaction. MATÉRIEL APPLIQUÉ Le producteur dispose également d'un logiciel puissant pour fournir des conditions de processus en temps réel, ainsi que des outils de diagnostic, d'enregistrement de données et d'analyse avancés. Ce réacteur est complété par un certain nombre de dispositifs de sûreté qui favorisent un fonctionnement plus sûr, y compris des hottes à fumées suspendues, une surveillance du personnel sur place et un système d'arrêt de sécurité en 32 points. En résumé, Producteur est un réacteur avancé et puissant conçu pour CVD de tungstène et pré-traitement et post-traitement des couches. Ce réacteur assure un contrôle précis des conditions de réaction, supporte de multiples matériaux et contient une série de caractéristiques de sécurité pour assurer un fonctionnement plus sûr.