Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Producer #9262473 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS Producer
ID: 9262473
SACVD / PECVD System.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le producteur est un réacteur avancé de dépôt et de gravure conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il intègre les dernières avancées technologiques pour permettre le dépôt et la gravure de couches à l'échelle nanométrique avec une grande précision et uniformité. L'équipement utilise une chambre à plasma avec deux sources d'électrons pour générer des ions de haute énergie avec une grande variété de paramètres tels que l'intensité du courant et les espèces de plasma. Ceci permet le dépôt de matériaux avec une excellente homogénéité sur des substrats de tailles et d'épaisseurs définies. La chambre est équipée d'une spectrométrie d'émission optique qui surveille la composition chimique du plasma et permet un contrôle précis des niveaux d'énergie et des profils de dopage désirés. Un composant de spectrométrie de masse est également inclus pour surveiller les débits de pulvérisation des ions plasmatiques entrants sur le substrat. Le système est également capable de divers procédés de gravure, tels que la gravure ionique réactive, la gravure ionique réactive profonde et le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma. L'unité dispose également de capacités de contrôle complètes grâce à une interface utilisateur graphique complète et une machine de contrôle des processus. L'outil de contrôle des processus fournit aux utilisateurs un certain nombre de processus basés sur la simulation pour aider à la création de recettes de processus standard de l'industrie. La chambre est très modulaire et peut être configurée pour accueillir différentes recettes de processus, permettant aux utilisateurs d'exécuter des processus spécifiques qui sont optimisés pour l'application spécifique. La conception de l'actif lui permet de s'adapter à une variété de processus de dépôt et de gravure. La chambre de dépôt est constituée d'un porte-substrat à double alimentation avec des niveaux de puissance variables et un modèle à mémoire non volatile. Des gaz réactifs et des gaz spéciaux peuvent être ajoutés à la chambre au besoin pour effectuer des procédés spécifiques. La chambre de gravure est conçue pour minimiser les dommages au substrat et exécuter des processus de gravure à haute sélectivité. AMAT Producer est un puissant équipement de production de semi-conducteurs qui assure un dépôt et une gravure de haute précision. Il est conçu pour une précision extrême, un débit élevé et un contrôle de processus avancé. Le système est adapté à la fabrication de dispositifs semi-conducteurs à partir de caractéristiques ultra-petites à de grands substrats avec une grande précision et uniformité.
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