Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS PVD Chamber for Endura #9275294 à vendre en France
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Vendu
ID: 9275294
Taille de la plaquette: 12"
12"
Process: Extensa Su
Magnet
Cryo pump OB-IF8
Gate valve: VAT
Heater: 0010-24456
Adaptor: 0040-89818
Manometer: 1350-00255
ATM gauge: W117V-3H-F12M-X30014
Capacitance pirani gauge: 3310-00073
Pedestal integration box: 0010-28071
Hot ion / Pirani gauge: 0190-26769
Shutter sensor assembly: 0190-10801
Source assembly: 0010-44917
Angle vacuum valve: AVT-150M-P-03
Heater lift motor
Wafer lift motor: MQMA012AF
Shutter motor: PK564AW2-A8
Drivers:
Heater driver: 3096-1007
Wafer lift driver: 0190-15328
Pedestal driver: PV2A015SMT1PA0-C1
Magnet rotation driver: BXD400B-S
MFC:
AR 50
AR 20
N2 92
No 5-Phase driver
No ISAC CP 10 Block board
No defective power supply.
AMAT/APPLIED MATERIALS PVD Chamber for Endura est un réacteur de dépôt physique en phase vapeur (PVD) conçu pour diverses applications de production dans diverses industries. Le PVD est un procédé de dépôt qui implique l'évaporation d'un matériau source pour produire un film solide sur un substrat. La chambre d'Endura constitue un moyen de dépôt fiable et rentable dans diverses industries. La chambre Endura dispose d'un système de pompage actif qui fournit du gaz de procédé haute pureté et haute pression. Le système comprend également une source de forte puissance pour l'évaporation du matériau à déposer. Cette source est constituée de bateaux en tungstène de type filament, de filaments chauffés à la triode ou de canons à électrons. La chambre comporte également plusieurs dispositifs de sécurité, tels que des joints de fenêtre en quartz, des détecteurs de fuites et des détecteurs de gaz explosifs. La chambre est construite en acier inoxydable, en aluminium compatible UHV, et d'autres matériaux résistant à la corrosion. La chambre comporte également deux regards d'atmosphère qui permettent l'observation et la surveillance du processus de dépôt. Les visionnages sont optiquement scellés pour éviter la contamination de l'intérieur. La chambre Endura est conçue pour atteindre une productivité, une répétabilité et une reproductibilité élevées. Son système de contrôle informatisé permet la collecte automatisée de recettes et de données, la surveillance des processus et d'autres fonctionnalités avancées. Il est conçu pour répondre aux exigences de production à haut volume et capable de maintenir la température jusqu'à 1100 ° C En plus d'offrir fiabilité et souplesse dans le processus de dépôt, la Chambre Endura contribue à minimiser les coûts liés au processus. Ceci est réalisé en raison de sa facilité d'entretien et de ses faibles coûts d'exploitation. De plus, son efficacité et ses technologies de pointe contribuent à augmenter la productivité des processus tout en maintenant les normes de qualité les plus élevées. Dans l'ensemble, AMAT PVD Chamber for Endura offre un moyen fiable et rentable d'effectuer des dépôts physiques en phase vapeur. Ses fonctions de sécurité et de contrôle avancées, associées à sa fiabilité et à sa flexibilité, en font un choix idéal pour de nombreuses applications de production.
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