Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS RTP #9035884 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS RTP est un réacteur conçu pour le traitement des matériaux semi-conducteurs, développé et fabriqué par AMAT. Le réacteur est équipé de systèmes avancés de contrôle des processus qui garantissent des résultats précis et reproductibles. Il est utilisé dans la fabrication de circuits intégrés (CI) et conçu pour permettre la fabrication de CI avec des caractéristiques avancées et des performances élevées. AMAT RTP est un système de traitement thermique avancé utilisé pour diverses applications, y compris le dépôt diélectrique, la diffusion, le refoulement et le recuit. Le réacteur utilise un traitement thermique cyclique qui offre des cycles de traitement plus rapides et une homogénéité et une répétabilité améliorées du substrat. Il est également équipé de la technologie d'imagerie thermique, qui fournit un contrôle et une surveillance précis de la température. Le réacteur peut être configuré pour divers procédés, dont le dépôt chimique en phase vapeur, l'oxydation, le recuit thermique rapide, le refoulement et la diffusion. Le réacteur comprend un tube de quartz chauffé, une cellule de vue en quartz et une cellule d'effusion. Le tube à quartz fournit l'espace de traitement des substrats et permet de les chauffer et de les refroidir dans l'environnement contrôlé. La cellule de vue en quartz contient les espèces réactives, tandis que la cellule d'effusion assure le contrôle de la température et permet d'appliquer efficacement le mélange gazeux sur le substrat. Un contrôleur central est également prévu pour assurer la surveillance et le contrôle des processus, ainsi que l'enregistrement et l'archivage des données. MATÉRIAUX APPLIQUÉS RTP est un système de traitement thermique très efficace, productif et fiable. Il est conçu avec des matériaux et des procédés robustes pour assurer des cadences de production élevées et une uniformité fiable des substrats sur des millions de cycles de traitement. Ce réacteur est une solution rentable pour les applications de fabrication d'IC ; permettre un traitement complexe dans un délai plus court. Il est également équipé de contrôles automatisés pour assurer des performances cohérentes et une précision améliorée pour une variété d'applications. Cela en fait une solution idéale pour la fabrication d'IC, permettant des processus plus efficaces et des cycles de commercialisation plus courts.
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