Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Siconi R2 #9375622 à vendre en France

MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Siconi R2 est un équipement de réacteur de grande puissance et de grande capacité utilisé dans la production de semi-conducteurs. Le système se compose de deux composants principaux : la table support du substrat et la chambre du réacteur. La table support de substrat est en acier inoxydable et supporte les substrats en cours de traitement. La chambre du réacteur est une chambre à vide qualifiée à pression atmosphérique en acier inoxydable et est utilisée pour fournir un environnement propre et sûr pour les substrats pendant le processus. AMAT Siconi R2 dispose d'un grand ensemble de fonctionnalités, fournissant un contrôle précis et répétable des paramètres du processus. L'unité est équipée d'un générateur RF, d'un mandrin précis refroidi par air qui assure une répartition uniforme de la température et d'une machine de contrôle des gaz en temps réel. Le générateur RF est capable de délivrer jusqu'à 10 watts de puissance RF, fournissant la répétabilité du processus tout au long du cycle. Le mandrin refroidi par air est conçu pour réduire les gradients thermiques sur l'ensemble de la plaquette, ce qui permet d'uniformiser les paramètres du processus, tels que l'épaisseur de l'oxyde et la profondeur de gravure. L'outil de contrôle en temps réel permet un contrôle précis de la réaction au cours du cycle, garantissant une qualité et une répétabilité constantes. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Siconi R2 fournit un environnement optimal pour le contrôle des processus, permettant les niveaux les plus élevés de répétabilité des processus avec un minimum de temps d'arrêt des outils. Son contrôle précis et répétable des paramètres du procédé permet d'améliorer les rendements de fabrication. L'actif est conçu pour la production automatisée et joue un rôle important dans le processus de fabrication des dispositifs semi-conducteurs. Ce modèle de réacteur de pointe offre une atmosphère sûre, propre et répétable de façon constante, tout en permettant un débit maximal.