Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS System #293654409 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS L'équipement est un système AMAT à dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) à haute performance. Sa conception est une chambre à vide monobloc, entièrement métallique-céramique, qui contient des sources à double couplage capacitif et plusieurs zones de chauffage. Cette unité MATÉRIAUX APPLIQUÉS permet de contrôler avec précision les processus de dépôt de films et de modification de surface pour diverses applications, y compris les semi-conducteurs, l'optoélectronique et les MEMS (systèmes micro-électromécaniques). Les sources à double plasma de Machine combinent la puissance RF avec les gaz de procédé pour la génération d'espèces réactives à haute énergie. Ces espèces sont diffusées à travers la plaquette chauffée, ce qui entraîne un dépôt uniforme et une modification importante de la surface. En outre, le processus de dépôt de silicium polycristallin est également amélioré par l'utilisation d'une puissance RF plus élevée et d'un débit de gaz affiné. Les températures de la plaquette sont gérées grâce à un outil avancé de gestion des zones thermiques AMAT/APPLIED MATERIALS Tool. Cet actif AMAT se compose de plusieurs températures de chauffage indépendantes, permettant un contrôle complet des cycles thermiques. La température dans chaque zone est surveillée et ajustée à l'aide d'un contrôle PID avancé (proportionnel, intégral et dérivé). Les plans de température du procédé peuvent également être ajustés avec précision pour répondre aux besoins de l'application. Le réacteur PECVD dispose également d'une pompe intégrée au vide d'ionisation à cathode froide (CCIV), qui fournit le plus haut degré de contrôle du vide. Cela élimine l'exigence d'une pompe à vide externe, ce qui réduit les coûts et améliore les performances du modèle de matériaux appliqués. La pompe CCIV est conçue pour gérer le volume élevé de gaz généré par l'équipement tout en fournissant une pression de gaz extrêmement basse. Enfin, AMAT/APPLIED MATERIALS System peut être intégré au logiciel de contrôle de processus AMAT. Ce logiciel permet aux utilisateurs de surveiller et de contrôler à distance l'ensemble de l'unité AMAT, en offrant une visibilité totale sur le processus de dépôt et de modification de surface. En automatisant le processus, APPLIED MATERIALS Machine garantit une performance et une efficacité optimales.