Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS TCG Rack for Centura RTP #293640872 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS TCG Rack for Centura RTP est une chambre de réaction industrielle conçue pour soutenir la croissance contrôlée thermiquement des couches atomiques utilisées dans la production de semi-conducteurs. La chambre permet un contrôle précis de la température, de la pression, des réactifs et de l'environnement pendant le processus réactionnel. L'unité est composée d'une chambre de réaction cylindrique, d'une chambre extérieure de puissance et de commande, d'un bouclier monté entre les deux coques intérieure et extérieure, d'un équipement d'introduction de gaz inerte et de plusieurs dispositifs de sécurité. La chambre intérieure est construite à partir d'un alliage d'acier inoxydable scellé sous vide et est conçue pour résister à des pressions et des températures élevées. Il a une conception cylindrique et concentrique pour une distribution d'écoulement descendante précise des gaz de procédé, une fenêtre de 7 pouces pour l'accès optique et la spectroscopie RAMAN, une boîte à gaz évolutive et une conception de port unique pour injecter des réactifs ou des points d'échantillonnage près des substrats. La chambre extérieure, où sont logés la puissance et les mécanismes de commande, fournit des températures jusqu'à 1000 ° C et des pressions jusqu'à 20 bars. Il est configuré avec un collecteur d'entrée, un système de refroidissement, des évents d'échappement et diverses soupapes de commande. L'écran est conçu pour absorber les vapeurs chimiques et assurer l'isolation thermique entre la chambre intérieure et la chambre extérieure, tandis que l'unité d'introduction de gaz inerte permet un contrôle précis de l'atmosphère réactionnelle. Enfin, divers composants de sécurité, tels qu'une machine de refroidissement passif, une coupure thermique et un interrupteur de sécurité complet, sont inclus pour protéger l'unité d'un dysfonctionnement dû à des coupures de courant ou à une erreur de l'opérateur. AMAT TCG Rack for Centura RTP est une chambre de réaction avancée et hautement configurable, parfaite pour la croissance contrôlée thermiquement des couches minces. Les couches minces et paires produites par cette unité aident les processus de production de semi-conducteurs à devenir fiables, précis et efficaces.