Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE #293665501 à vendre en France

AMAT Producer SE Twin Chamber Reactor est un équipement robuste, facile à utiliser, de traitement par lots conçu pour la gravure à haut débit et le dépôt de plaquettes de silicium. Ce système avancé de traitement à deux chambres offre une flexibilité de procédé ultime avec la capacité de gérer la gravure, le dépôt et les combinaisons des deux procédés. Le producteur SE Twin Chamber Reactor permet un traitement de haute qualité et peut obtenir une excellente couverture pelliculaire et une grande uniformité. La première chambre, la chambre de gravure, traite jusqu'à neuf plaquettes à commande individuelle et dispose d'une unité de distribution de gaz agressive et d'un support de chargement de plaquettes conductrices. Cette chambre utilise HF comme précurseur pour graver l'oxyde de silicium et le nitrure. Grâce à la technologie haut de gamme, comme les spectromètres de masse avancés et le dispositif de difussion de masse vibrée à haute sensibilité, la vitesse de gravure et la sélectivité peuvent être atteintes et, lorsqu'ils sont utilisés en combinaison avec le contrôle avancé de la température de surface et une machine de chargement de plaquettes en boucle fermée, de bons rendements de processus et la reproductibilité peuvent être obtenus. La deuxième chambre, la chambre de dépôt, présente une tête de douche verticale intégrée, qui assure une excellente homogénéité et répétabilité des dépôts. La tête de douche haute performance est soutenue par une mesure avancée de la température des gaz d'échappement et du débit afin de garantir de faibles niveaux de contamination. La chambre est conçue pour traiter deux à six plaquettes à commande individuelle et utilise des films à haute température tels que PECVD TEOS comme précurseur. L'outil de chargement des plaquettes en boucle fermée et l'actif avancé de spectrométrie de masse peuvent être utilisés pour maximiser les performances de dépôt et obtenir une excellente couverture pelliculaire. Le réacteur à double chambre SE producteur est conçu pour le traitement à grande échelle. Le modèle transport offre une manipulation automatisée efficace d'une cinquantaine de plaquettes, augmentant encore le débit de l'équipement. C'est un système amélioré avec un logiciel de contrôle amélioré et une capacité de surveillance avancée des processus. Il permet une personnalisation complète des paramètres du processus pour chaque étape et offre une configuration extrêmement rapide et facile. En conséquence, les processus fonctionnent dans des conditions optimales tout en améliorant les rendements et en réduisant les temps de cycle. Cette unité de traitement avancée à deux chambres peut offrir la flexibilité de procédé ultime pour les applications de gravure et de dépôt.