Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE #293665727 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Chambre jumelée pour producteur SE est un réacteur de gravure à semi-conducteur haute performance conçu pour assurer un contrôle précis des conditions de processus de gravure, avec une uniformité considérablement améliorée et des taux de défauts plus faibles que les outils de gravure à chambre unique traditionnels. L'équipement est composé de deux chambres à vide indépendantes, chacune avec sa propre source de plasma à résonance cyclotron électronique (ECR). Ceci permet un traitement de gravure simultané précis de deux substrats distincts dans chaque chambre à vide. Les deux sources de plasma ECR indépendantes dans chaque chambre ont un accès facile et un entretien facile. Chaque source de plasma est capable de contrôler avec précision la puissance du plasma, la fréquence, le biais RF et la distribution du gaz pour améliorer les rendements des procédés. De plus, un système avancé d'automatisation des échantillons en boucle fermée permet à l'outil d'ajuster automatiquement les conditions de processus pendant les opérations de gravure et d'optimiser à la volée les processus de gravure. Les chambres sont logées dans un cadre robotique de transport d'outils qui contient l'unité de transfert de plaquettes, la plomberie et le blindage blindé RF (radiofréquence). Cela permet un transfert rapide et facile de deux substrats entre les deux chambres avec une contamination minimale. Le cadre permet également un entretien plus efficace car il élimine la nécessité d'accéder manuellement aux chambres. Le cœur de la machine est son interface de contrôle logiciel qui fournit une interface graphique utilisateur intuitive pour une configuration et un contrôle de processus faciles, ainsi que des fonctionnalités puissantes telles que l'optimisation et la surveillance automatisées des processus, le diagnostic des pannes, la sécurité des utilisateurs, les alarmes, l'enregistrement des données et la conformité de la FDA GxP à 21 CFR partie 11. Cela permet un fonctionnement facile et précis de l'actif avec des résultats de gravure très reproductibles. AMAT Twin chamber for Producer SE est un outil de gravure puissant qui permet aux ingénieurs et aux scientifiques d'obtenir des résultats de gravure de haute précision tout en réduisant le temps et le coût des processus. Avec ses caractéristiques avancées, sa solide réputation de fiabilité et ses performances exceptionnelles, il offre une excellente solution économique pour les applications de gravure.