Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE #293665728 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Chambre jumelée pour producteur SE est une chambre de réaction spécialisée conçue pour fournir un traitement haute performance des substrats de plaquettes. L'équipement est proposé en plusieurs configurations pour répondre aux besoins des différents processus de production. La chambre jumelle comporte deux chambres de réaction à vide élevé : une chambre inférieure pour le dépôt d'oxyde de silicium, de silicium polycristallin, de nitrure ou d'autres composés, et une chambre supérieure pour la gravure et d'autres opérations. La chambre inférieure est équipée d'une variété de sources et est contrôlée en température pour l'uniformité de traitement. Il dispose d'une plaque de base chauffée pour maintenir la température de la plaquette pendant le traitement, ainsi que de deux systèmes de plateaux distincts pour le dépôt uniforme du film. La chambre dispose également d'un système de distribution de gaz haute pression et d'une unité de gestion automatisée du gaz. La chambre supérieure est conçue pour traiter des opérations telles que la gravure profonde de silicium et divers procédés LPCVD. Il est équipé d'une sélection complète de sources linéaires RF doublées de céramique, ainsi que d'une variété de plaques d'anode en céramique et en quartz pour la gravure profonde. La chambre comprend également une machine haute pression pour délivrer différents gaz pour les procédés de gravure. Les deux chambres ont été conçues pour travailler ensemble afin de fournir un traitement haute performance. La chambre inférieure fournit un dépôt uniforme de matière, tandis que la chambre supérieure grave et dépose divers autres matériaux selon les besoins. L'outil est également équipé d'éléments chauffants à haute température qui permettent d'améliorer l'homogénéité des plaquettes dans les procédés à haute température, tels que le dépôt de titane. L'actif comprend également un modèle automatisé de manutention des plaquettes pour transférer les plaquettes entre les deux chambres. Cet équipement est conçu pour assurer un traitement rapide et efficace des plaquettes. Le système est également conçu pour s'intégrer au logiciel Process Control et à un ordinateur hôte, permettant une surveillance et un contrôle en temps réel des paramètres du processus. AMAT chambre jumelle pour producteur SE a été conçu pour fournir un traitement de plaquettes haute performance pour une gamme d'applications. La combinaison de deux chambres séparées et d'une unité de manutention automatisée des plaquettes a permis à la machine de fournir des résultats de qualité avec des temps de cycle réduits. Cela en fait une solution idéale pour ceux qui cherchent à améliorer leur processus de production.