Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima HDP #293797292 à vendre en France

AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima HDP
ID: 293797292
Taille de la plaquette: 8"
CVD Systems, 8" (3) HDP Chambers Cassette stage: 25-Position LL Type: Wide body Light tower: 4 Light Dual Hard Disk Drive (HDD) Gas type: SiF4, O2, SiH4, Ar, NF3 STEC Z512 MFC Process cooling Gas box exhaust SEC II/GEM (2) BROOKS AUTOMATION LPT2200 Smoke detector Monitor and light pen: (2) Flat panels with touch screen MFC Type: BROOKS AUTOMATION GF100 Type / Flow (SCCM) SiF4 / 100 O2 / 400 SiH4 / 200 Ar / 300 SiH4 / 20 Ar / 50 NF3 / 2000 Ar / 2000 Power supply: 208 V, 50 W, 3 Phase, 50 Hz.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Ultima HDP est une chambre de traitement plasma utilisée pour le dépôt plasma et la gravure de couches minces. Il est conçu pour offrir une uniformité et une productivité de haute qualité dans les procédés de dépôt et de gravure de couches minces de précision. Le réacteur HDP est équipé d'un champ magnétique avancé de résonance cyclotron électronique (ECR) qui fournit une gravure et un dépôt de plasma uniformes sur une grande surface. L'ECR produit un champ électrique uniforme pour ioniser et accélérer les molécules de gaz, produisant un plasma très uniforme avec une gravure et un dépôt plus cohérents. Le réacteur HDP est construit en acier inoxydable et dispose d'une grande chambre de procédé avec un débit élevé de gaz de refroidissement à travers la chambre pour améliorer l'uniformité thermique. Il possède également une double source de dépôt augmentant l'homogénéité, avec la capacité de commuter alternativement entre plusieurs plasmas pour déposer plusieurs couches. AMAT Ultima HDP est un outil puissant pour graver et déposer des films minces avec précision. Elle fournit à l'industrie un débit de pointe, une uniformité constante et un contrôle de microstructure supérieur aux outils traditionnels de traitement du plasma. L'uniformité et le contrôle de la température améliorés sont en partie dus à une conception de paroi perforée déplacer les gaz à travers la chambre de processus uniformément. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Ultima HDP comprend des technologies et des capacités sophistiquées de contrôle de pression et de détection. Le réacteur HDP permet une mise à l'échelle et une intégration importantes des procédés, offrant aux clients un débit et une productivité améliorés tout en augmentant le niveau de contrôle dans le processus de dépôt et de gravure. Il s'agit d'une solution polyvalente permettant une intégration directe avec d'autres composants du processus, ainsi qu'une intégration dans des environnements de salles blanches existants. Ultima HDP fait partie de la famille AMAT d'outils de traitement du plasma, qui possède une grande variété de capacités en gravure, dépôt et modification de surface. Il est conçu pour répondre aux exigences des centres de recherche de haute technologie et des usines de fabrication d'aujourd'hui. Les clients peuvent tirer le meilleur parti de leur technologie et de leurs processus de production.
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