Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima HDP #9315128 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Ultima HDP (High Density Plasma) est un outil de procédé de pointe conçu pour permettre la fabrication de circuits et dispositifs microélectroniques avancés. Développé en partenariat avec Plasma-Therm, le réacteur HDP AMAT Ultima assure la production à haut débit d'une large gamme de matériaux et de dispositifs, y compris de nouvelles architectures finFET et dual-gate. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Ultima HDP combine une source de plasma haute densité (HDP) avec une chambre de décharge de plasma en cascade à plusieurs niveaux qui est entourée par un corps de chambre à quartz et évacuée par un dispositif de vide à paroi froide. Cette combinaison de technologies permet un traitement à haut débit des matériaux et dispositifs les plus difficiles à traiter. Ultima HDP réagit à une large gamme de gaz, y compris Ar, H2, N2, O2 et H2O. La large gamme de gaz, associée à un biais électrique anodique, permet un contrôle précis des paramètres chimiques et physiques de traitement, permettant le traitement d'une large gamme de matériaux, y compris Si, SiGe, SiC et GaAs. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Ultima réacteur HDP est équipé d'un ensemble complet de diagnostics et d'un système de surveillance en temps réel qui peut être utilisé pour surveiller les conditions de processus tout au long d'une course. L'unité de surveillance en temps réel comprend l'échantillonnage du gaz, le comptage des particules, la surveillance de la pression, la surveillance de la température et la surveillance du débit d'électricité et de la polarisation. Cette machine de surveillance en temps réel permet à l'utilisateur d'ajuster et d'optimiser les paramètres du processus pour améliorer la répétabilité et les performances du processus. L'outil de dosage de gaz incorporé permet également un meilleur contrôle de la chimie du procédé et améliore l'efficacité de l'utilisation du gaz. Le réacteur AMAT Ultima HDP offre également des fonctionnalités de sûreté améliorées, grâce à ses systèmes de sécurité intelligents. Ces caractéristiques comprennent l'arrêt automatique dans le cas de fuites de gaz, des changements soudains de pression ou de température, ou des surtensions de puissance. L'actif alerte également l'exploitant en cas d'urgence, ce qui lui permet de prendre les mesures nécessaires pour assurer la sécurité du processus. En résumé, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Ultima réacteur HDP est un outil de procédé de pointe qui permet la fabrication de circuits et de dispositifs microélectroniques avancés. La combinaison de sa source de plasma haute densité et de sa chambre de décharge en cascade, associée au partenariat avec Plasma-Therm, fait d'Ultima HDP l'outil de traitement le plus avancé de sa catégorie. Sa gamme complète de diagnostics et de modèles de surveillance en temps réel permet un contrôle précis des paramètres du processus et une meilleure répétabilité du processus. Il offre également des dispositifs de sécurité améliorés pour assurer la sécurité des processus en cas d'urgence.