Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima Plus #9256871 à vendre en France

MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Ultima Plus est un équipement de nouvelle génération de réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu pour des applications avancées de traitement des matériaux. Ce système de recteur polyvalent permet le traitement par lots de divers matériaux tels que métaux, semi-conducteurs, oxydes, nitrures et films magnétiques/ferroélectriques. Il s'agit d'une version améliorée de l'outil Ultima® de l'entreprise. La conception de ce recteur comprend une combinaison intégrée de chauffage des matériaux très efficace, de performances plasmatiques uniformes et d'innovation en matière de contrôle des processus. Le réacteur à quartz comprend deux sources de plasma blindées en bordure, un projecteur double alimenté par un générateur RF et une broche élévatrice chauffée. L'axe élévateur est conçu pour un transfert homogène de la plaquette chauffée du suscepteur vers la boíte à gaz du réacteur. Le contrôleur moteur d'AMAT Ultima Plus permet aux utilisateurs d'ajuster finement la distance entre le suscepteur et la boîte à gaz pour ajuster l'espace de traitement. Il permet également aux utilisateurs de contrôler avec précision la température à travers la plaquette ainsi que la position de la plaquette au centre du réacteur à plasma. Ce réacteur a une capacité basse pression et multi-zones avec une gamme de températures de procédé allant de la température ambiante à 600 ° C Il offre également un traitement à basse pression pour des matériaux tels que le GaN, le diamant et les nanotubes de carbone, et peut traiter un large éventail de matériaux où le traitement à haute pression ne serait pas approprié. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Ultima Plus est livré de série avec des processus diagnostiques tels que l'ellipsométrie in situ, la spectroscopie Raman et la réflectométrie. De plus, il dispose d'un système de verrouillage de charge multi-tubes, d'un soufflet en acier inoxydable, d'une source de plasma à quatre polarisations magnétron, d'une puissante source de plasma modulée par impulsions, d'un contrôleur de fonctionnement automatisé et d'une unité de vide. La machine est conçue pour optimiser le débit tout en minimisant les risques de contamination. Ultima Plus permet aux utilisateurs de contrôler rapidement et avec précision leurs processus en utilisant des paramètres définis par le client tels que le temps, la pression, la puissance RF et la température pour composer précisément la recette optimale. Les systèmes de sûreté avancés inclus dans le réacteur garantissent un fonctionnement sûr et protègent l'environnement du procédé contre tout type de contamination.