Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima X #293754394 à vendre en France

MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Le réacteur Ultima X est un outil de pointe utilisé pour le dépôt de couches minces avec un contrôle inédit de l'homogénéité du dépôt. Il utilise la technologie du vide ultra-élevé, la source de plasma à résonance cyclotron électronique (ECR) et le contrôle avancé des procédés pour permettre l'augmentation des performances au niveau des nanomètres et l'uniformité de l'épaisseur des couches minces déposées, avec un débit élevé et une fiabilité maximale du procédé. Le réacteur AMAT Ultima X offre un séquençage de processus entièrement automatisé et un contrôle de processus en boucle fermée avec un contrôle de pression réglable, une rotation des plaquettes à double zone et une métrologie avancée des processus. Cela garantit que les conditions de travail les plus idéales sont atteintes, permettant des résultats cohérents et reproductibles. La source de plasma ECR fournit un plasma d'oxygène uniforme et très énergivore et a une large fenêtre de processus qui permet un large éventail de processus de dépôt, y compris la gravure, l'oxydation, le dépôt, le recuit et la passivation de film. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Ultima X dispose également d'un étage de mouvement linéaire échangeable qui permet un chargement rapide et fiable des plaquettes. Il dispose également d'une chambre de transfert pour un transfert efficace de plaquettes entre chambres de traitement, offrant un haut degré de flexibilité de processus. Le réacteur Ultima X est également capable d'exécuter plusieurs processus en parallèle, offrant un débit important et une grande flexibilité de traitement. Le système peut accueillir jusqu'à huit processus dans une seule chambre, qui peut être configuré pour plusieurs tailles de plaquettes. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Ultima X assure à la fois un dépôt à basse température et un traitement à haute température, permettant des températures de dépôt ultra basses sans sacrifier les performances du procédé. Ceci permet des dépôts fiables et cohérents à des taux de dépôt élevés. Le réacteur AMAT Ultima X est un outil de pointe qui offre le plus haut niveau de contrôle des procédés, de répétabilité et d'uniformité, tout en offrant un haut niveau de débit et de flexibilité. C'est un outil essentiel pour obtenir les résultats les plus fiables et reproductibles dans le dépôt de couches minces.