Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #293758482 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Ultima est un réacteur à plasma à haute performance conçu pour permettre la production de circuits intégrés avancés. Le réacteur est capable de fournir une gravure, un dépôt, un nettoyage et des applications de première qualité tout en assurant la cohérence et le rendement du procédé. Le réacteur AMAT Ultima offre un environnement de traitement entièrement automatisé et contrôlé avec des contrôles de processus avancés. Cela permet des densités ioniques précises, des températures et un traitement plasma auto-optimisant. Les contrôles de processus avancés permettent à l'outil de garantir des résultats exacts pour chaque appareil produit. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Ultima réacteur utilise la technologie de pulvérisation magnétron qui permet des taux de dépôt élevés et l'uniformité sur une variété de matériaux. Le film dense et uniforme permet une convergence plus précise de la couche de procédé et un marquage plus précis avec une erreur d'enregistrement réduite. Le film uniforme réduit également le risque de biais de procédé et d'augmentation de la défectivité. Le réacteur Ultima permet également de traiter plusieurs substrats en parallèle, en augmentant le débit et le contrôle de la variabilité de débit. L'Advanced Process Control (APC) permet aux ingénieurs des procédés de contrôler et de surveiller les processus de gravure et de dépôt. L'APC permet l'optimisation et la rétroaction des processus en temps réel, tout en fournissant de la documentation et des dossiers sur les conditions de processus, y compris les températures, les pressions et le type de matériau de substrat. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Ultima dispose d'une chambre à vide d'une surface maximale de 180 mmx40mm et d'un équipement de distribution de gaz comprenant un régulateur de débit massique (MFC) et un système d'échappement des gaz. La chambre à vide est conçue pour assurer un contrôle précis des gaz de procédé. En outre, le réacteur AMAT Ultima offre un contrôle sophistiqué de la température et de la puissance, permettant un contrôle précis de la température du substrat. Ce contrôle précis de la température est nécessaire pour des processus reproductibles, contrôlés et prévisibles qui donnent des résultats précis et à haut rendement. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Ultima dispose également d'une unité de métrologie in situ qui peut mesurer des caractéristiques telles que les dimensions critiques, l'intégrité des nitrures et la rugosité de surface. La machine de métrologie fournit des informations qui peuvent être utilisées pour affiner les conditions du processus ou surveiller et optimiser les performances du processus, assurant un rendement optimal et un meilleur contrôle du processus. Dans l'ensemble, Ultima est un réacteur à plasma à haute performance capable de fournir des résultats de traitement fiables, de haute qualité et cohérents. L'outil est conçu pour traiter une variété de matériaux et de tailles de substrat et offre les derniers en matière de contrôle et de surveillance des processus, permettant des processus reproductibles, contrôlés et prévisibles. Les processus peuvent être optimisés et contrôlés en temps réel, ce qui permet un meilleur rendement et de meilleurs résultats.