Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9116892 à vendre en France

MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Ultima Reactor est un outil de procédé de haute précision et haute efficacité conçu pour la fabrication d'applications avancées d'affichage à écran plat à transistor à couches minces à basse température (TFT). C'est le modèle phare de la série d'outils de processus AMAT Ultima. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Ultima Reactor est conçu pour les procédés de dépôt et de gravure en couches minces. Il dispose d'un système standard à chambre unique qui permet d'alimenter simultanément le substrat en gaz multiples. La conception du réacteur Ultima comprend un système breveté de génération de plasma RF, un mandrin électrostatique pour un serrage précis du substrat, un système de rétroaction automatisé et un régulateur de température intégré. Le substrat est maintenu sur la surface du mandrin et réagit directement avec le plasma à l'intérieur de la chambre du réacteur. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Ultima Reactor est capable de déposer ou de graver des films aussi minces que 5 nanomètres et il peut atteindre une uniformité de 5 nm ou mieux. Il est également capable de déposer et de graver des films d'aluminosilicate et d'oxyde métallique à température ambiante (20- 200⁰C). Le réacteur peut également traiter diverses chimies gazeuses et liquides à différentes pressions ainsi que le dépôt de matériaux à plasma haute densité. De plus, le réacteur a une conception modulaire, ce qui lui permet d'être adapté à un procédé spécifique. AMAT Ultima Reactor est facile à utiliser et efficace dans la production. Il fournit une méthode fiable et répétable pour le dépôt et la gravure de divers films minces, y compris le silicium polycristallin, le silicium amorphe fluoré, les oxydes métalliques et les films aluminosilicate. Le réacteur est également compatible avec différents matériaux de substrat, comme le verre, le polyimide et le quartz. Enfin, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Ultima Reactor offre une longue durée de vie de performance de procédé fiable.