Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9298247 à vendre en France

MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Le réacteur Ultima est un outil de nouvelle génération pour la gravure diélectrique des substrats à base de silicium utilisés dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. AMAT Ultima est un puissant réacteur de gravure plasma à haut débit qui peut traiter de grandes plaquettes et graver efficacement des matériaux sans avoir besoin de produits chimiques supplémentaires. MATÉRIAUX APPLIQUÉS La technologie de pointe du réacteur Ultima offre une uniformité accrue des gravures, un meilleur débit et un excellent contrôle des procédés de gravure dans les procédés d'intégration de sous-microns et d'ultra-grande échelle (ULSI). Le réacteur Ultima est basé sur une plate-forme de piédestal triplement autonome, qui supporte trois postes de travail différents, chacun avec sa propre chambre de traitement. Un système informatique embarqué est utilisé pour contrôler les paramètres du processus et surveiller les conditions environnementales telles que la température, la pression et les paramètres atmosphériques. Ses caractéristiques avancées comprennent un système de vide robuste, une variété de sources de plasma, et des capacités de manutention du gaz. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Les sources de plasma Ultima sont capables de produire du plasma à des températures allant jusqu'à 4500 ° C, et sa technologie ultra-basse puissance a la capacité de maintenir des taux de gravure élevés avec un bombardement ionique minimal et une sélectivité élevée. Cela garantit des rendements plus élevés avec des résultats de haute qualité. Le réacteur AMAT Ultima est également capable de masquer et de déposer du plastique avec ses sources de plasma embarquées et couplées inductivement, ainsi que de contrôler l'oxydation des sous-couches sous la couche d'oxyde. Le système informatique embarqué intègre une variété de fonctionnalités sophistiquées, telles que la surveillance des processus en temps réel, le chargement automatisé des recettes et le réglage des paramètres, et les logiciels avancés de diagnostic et de diagnostic des défaillances. Il fournit également l'enregistrement et l'analyse des données, donnant aux utilisateurs accès à des résultats instantanés et économisant du temps précieux. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Ultima peut traiter une variété de matériaux avec une excellente sélectivité et uniformité, ce qui en fait un choix idéal pour la gravure diélectrique des substrats à base de silicium. En outre, le réacteur Ultima est économique et économe en énergie, avec une faible consommation d'énergie de 12,52 kW, ce qui le rend adapté à la production 24/7. Il assure également un fonctionnement sans danger pour l'environnement grâce à sa capacité de nettoyer les sources de plasma in situ, ce qui élimine le besoin de produits chimiques dangereux. Globalement, le réacteur Ultima AMAT/APPLIED MATERIALS est un outil avancé et hautement capable pour la gravure diélectrique de substrats à base de silicium utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs. Il offre une excellente uniformité, un débit élevé et un contrôle de processus pour la technologie sub-micron et ultra-GRANDE INTÉGRATION, ce qui en fait un choix idéal pour les applications industrielles.