Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9351211 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le réacteur Ultima est un équipement de dépôt sous vide de pointe conçu pour être utilisé sur des substrats semi-conducteurs et autres substrats liés aux semi-conducteurs. Le système est conçu pour offrir un débit, une uniformité et une fiabilité supérieures par rapport aux technologies classiques. Il peut être utilisé dans diverses applications, telles que la photolithographie, la gravure et la croissance de films. Le réacteur est une unité à simple cavité de précision avec un design unique de source de plaquettes, avec une géométrie horizontale qui est très répétable et uniforme sur tout un lot de substrats. La machine dispose également d'un outil de surveillance optique à trois faisceaux qui permet de mesurer l'énergie hyperfréquence, permettant potentiellement de détecter les pannes de puissance du dernier kilomètre. Le réacteur AMAT Ultima est capable d'effectuer un dépôt physique en phase vapeur (PVD) à l'aide de sources de pulvérisation standard. D'autres procédés sous vide tels que la pulvérisation par pulvérisation réactive, l'évaporation, le placage ionique et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) peuvent également être réalisés, ce qui permet une plus grande polyvalence. L'actif dispose de capacités avancées de surveillance des processus, ainsi que d'une suite complète de fonctions d'analyse des données et de rapports. Divers diagnostics spectroscopiques in situ sont disponibles, y compris la spectroscopie d'émission optique, la spectroscopie électronique Auger, la spectroscopie photoélectronique à rayons X et la spectroscopie de perte d'énergie électronique. Ceux-ci permettent un niveau sans précédent de contrôle des procédés pendant le dépôt. Le réacteur offre également des fonctions avancées d'automatisation des procédés qui permettent un fonctionnement multi-exploitation plus efficace. Il comprend une fonction d'optimisation automatisée des processus pour la mise en place et l'optimisation rapides des processus, et un outil intégré de métrologie pour la caractérisation in situ des plaquettes. Ses systèmes de manutention de mouvements et de plaquettes à grande vitesse permettent des processus rapides et reproductibles. En fin de compte, le réacteur Ultima fournit aux utilisateurs un environnement de processus fiable et reproductible conçu pour aider les installations de fabrication de copeaux à réduire les coûts de production et à maximiser les rendements. Sa capacité de processus intégrée, ses diagnostics de processus avancés et son automatisation permettent aux utilisateurs d'atteindre un débit, une uniformité et une fiabilité exceptionnels. Il offre également une large gamme de fonctionnalités adaptées aux besoins des applications semi-conductrices modernes.