Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Wafer orienter chamber for P5000 #9269013 à vendre en France
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ID: 9269013
Taille de la plaquette: 8"
8"
Wafer chuck, 8"
Wafer lift, 8"
Chamber lid
Part number / Description
0010-70247 / Laser optics, Assy
0010-20339 / Orienter rotation motor, Assy
0100-20068 / PCB, CCD
0090-76058 / Wafer orienter, PCB.
AMAT P5000 Wafer Orienter Chamber est un réacteur innovant qui permet des rendements plus élevés de matériaux avancés avec plus de précision et de contrôle. Le P5000 est conçu pour une gamme de types de procédés, y compris le dépôt, la gravure et le nettoyage de plusieurs substrats de plaquettes. Cette machine profite de la dernière génération de matériel, avec un contrôleur de processus automatisé, un système de sécurité amélioré, des alignements de haute précision, et des capacités de vide améliorées. La P5000 Wafer Orienter Chamber offre une capacité de production unique. Cela permet la production de plaquettes jusqu'à 12 pouces de diamètre, avec jusqu'à cinq substrats pouvant être manipulés simultanément. Chaque plaquette est positionnée, et la position exacte de la plaquette peut être déterminée et ajustée avec précision à l'aide de sous-systèmes optiques numériques avancés. Ceci assure un alignement précis et répétable de la plaquette au cours du processus, ce qui est essentiel pour la production de matériaux à plus haut rendement. L'orientation de la plaquette peut être configurée pour permettre le dépôt de divers matériaux avancés tels que des oxydes, des nitrures, des couches minces et d'autres matériaux performants. Ce réacteur utilise un moniteur à cristaux de quartz à haute sensibilité et un régulateur de débit massique, permettant un contrôle précis de l'ensemble du processus de dépôt. Cela donne aux opérateurs la capacité de gérer avec précision la distribution et la température des gaz de refoulement, ce qui conduit à un dépôt précis des matériaux et à une uniformité sur l'ensemble de la plaquette. Le P5000 offre également un système de sécurité inégalé en surveillant les paramètres de sécurité tels que la pression de gaz et de vide, les niveaux d'oxygène à l'intérieur du réacteur et la plage de température à l'intérieur de la chambre. Il est également équipé de matériel extérieur pour une protection supplémentaire, tel qu'un lock-out de gaz inerte, qui empêche les gaz de procédé d'entrer dans la chambre de procédé ou dans d'autres zones. La P5000 Wafer Orienter Chamber allie la technologie matérielle la plus récente à des techniques de production de matériaux éprouvées pour offrir un maximum de commodité et de contrôle. C'est le choix parfait pour ceux qui ont besoin de traiter de plus en plus petits lots de matériaux efficacement et précisément.
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