Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Widebody loadlock for Endura #293651962 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le loadlock à large bande pour Endura est un réacteur spécialement conçu qui permet le dépôt uniforme de matériaux en couches minces sur une variété de substrats. L'équipement est conçu pour maximiser l'uniformité des dépôts, minimiser la contamination et fournir une solution économique pour les procédés de dépôt en couches minces. Le Loadlock est un élément important du système de dépôt de couches minces Endura, car il permet un chargement, un alignement et un transfert efficaces des substrats à l'intérieur et à l'extérieur de la chambre de dépôt. Le loadlock à large bande comporte deux ports de chargement et deux ports d'évacuation/purge, tous deux munis d'évents étanches en joint torique pour maintenir l'environnement du processus. La base de la chambre de serrure est montée au fond de l'unité et comporte une plaque élévatrice pour le transfert du substrat. Les vannes de grille chauffées évitent la contamination de la chambre de procédé lors du transfert du substrat. Le loadlock est équipé d'un couvercle en quartz de deux pièces, qui est capable d'ouverture et de fermeture intermittentes pour minimiser les interruptions de processus. Une fois le couvercle ouvert, le mécanisme de vide est engagé, ce qui permet aux substrats d'entrer dans la chambre sans perturbation du procédé. La chambre à loadlock est entourée d'une atmosphère pré-mélangée à base d'azote/argon non réactif qui aide à prévenir la contamination. L'utilisation d'un mélange à deux gaz élimine la nécessité de purger les conduites d'azote ou d'argon, ce qui réduit les coûts d'entretien. L'intérieur de la chambre de serrure est recouvert d'alimentations RF durables, de fenêtres rubis-quartz et de chicanes de diffusion découpées de façon à assurer un dépôt uniforme des couches minces. Le loadlock à large bande est conçu spécifiquement pour la machine de dépôt de couches minces Endura, et il peut facilement manipuler une grande variété de substrats, de grands (300 x 300 mm) à petits (aussi petits que quelques microns). En plus de ses capacités de dépôt en couches minces, AMAT Widebody loadlock pour Endura est également équipé d'un empilement d'échappement qui est utilisé pour minimiser les procédés et les sous-produits de dépôt à l'entrée de la chambre de processus. Cette cheminée d'échappement permet de maintenir un environnement de processus sûr et propre, ainsi que d'assurer une uniformité de processus optimale pour un dépôt régulier de couches minces. L'outil comprend également un couvercle en forme de larme qui ajoute une protection supplémentaire à l'actif, tout en permettant un transfert de substrat efficace et sûr. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le loadlock Widebody pour Endura est un modèle fiable et robuste, conçu avec efficacité et uniformité à l'esprit. L'équipement est conçu pour minimiser la contamination et maximiser le dépôt uniforme de couches minces, tout en fournissant une solution économique pour les procédés de dépôt de couches minces. Avec sa technologie de pointe et ses composants durables, Widebody loadlock pour Endura est le choix idéal pour les besoins de dépôt de couches minces.