Occasion AMAT Centura High-K #293616807 à vendre en France

AMAT Centura High-K est un équipement de réacteur spécialement conçu pour la fabrication de plaquettes de 300mm. C'est un type de chambre de réaction vers laquelle on peut envoyer des gaz de gravure pour effectuer des étapes de nettoyage après implantation. Le système est conçu pour minimiser les particules en assurant un débit à grande vitesse qui élimine rapidement les particules avant qu'elles ne puissent se déposer à la surface de la plaquette. Les caractéristiques notables de Centura High-K comprennent une unité d'injection d'effluents à double zone, à flux parallèle, une focalisation acoustique, des programmes de réduction chimique, de gestion thermique et de contrôle des procédés, et des systèmes de récupération de chaleur efficaces. La machine à double zone permet d'injecter des gaz réactifs dans la chambre de réaction avec un degré élevé de précision et de vitesse. Cela réduit le temps nécessaire pour terminer le processus et le nombre de particules qui peuvent contaminer les plaquettes. La focalisation acoustique est une autre caractéristique importante d'AMAT Centura High-K. Cette technologie utilise des ondes sonores pour créer un canal de gaz de gravure extrêmement concentré qui se dissipe rapidement après la sortie de la chambre de réaction. Ceci présente l'avantage de réduire significativement les risques de contamination car il y a très peu de gaz à l'extérieur de la chambre de réaction. Centura High-K offre également des options de réduction chimique pour s'assurer que les réglementations de haut niveau en matière de salles blanches sont respectées. Cet outil utilise une série de filtres et d'absorbeurs pour piéger et nettoyer les émissions chimiques dangereuses de la chambre de réaction. De plus, il a des fonctions de gestion thermique et de contrôle qui permettent un contrôle précis de la température pour des résultats reproductibles. Enfin, AMAT Centura High-K est livré avec des systèmes de récupération de chaleur efficaces qui récupèrent l'énergie du procédé et l'utilisent pour réduire les coûts d'exploitation totaux. Cela permet d'augmenter la performance de l'équipement et de réduire les impacts potentiels sur l'environnement. Dans l'ensemble, Centura High-K est un atout de réacteur excellent et fiable pour la fabrication de plaquettes de 300mm. Il offre de nombreuses fonctionnalités avancées telles que la focalisation acoustique, la réduction chimique, la gestion thermique et les fonctions de contrôle, et des systèmes de récupération de chaleur efficaces. Toutes ces caractéristiques se combinent pour fournir une excellente expérience de processus et minimiser la contamination de la plaquette.