Occasion APPLIED MATERIALS Centura 5200 #111644 à vendre en France

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ID: 111644
Taille de la plaquette: 8"
DCVD system, 8".
MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le Centura 5200 est un réacteur à semi-conducteur horizontal multi-chambres conçu pour la production à haut volume de dispositifs microélectroniques avancés. Il est capable de traiter des substrats jusqu'à 8 pouces de plaquettes avec une variété d'applications pelliculaires avancées, y compris l'isolation des tranchées peu profondes (STI), la passivation, le dépôt d'oxyde de grille et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Il s'agit d'un équipement entièrement automatisé avec un grand port de chargement qui peut accueillir plusieurs plaquettes et est capable de recevoir diverses tailles de cassettes et des modules de processus configurables. La chambre de procédé de Centura 5200 est un cylindre en acier inoxydable qui permet au système d'effectuer un large éventail de processus de dépôt, de gravure et de nettoyage à la fois dans l'atmosphère et à basse pression. L'unité de vide en MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura 5200 est capable d'obtenir un vide de haute qualité et peut atteindre des pressions de base de 1E-8 torr. Il se compose d'une pompe mécanique et d'une pompe à diffusion étagée avec une pompe turbo-moléculaire. Cette machine a été conçue pour être compatible avec une variété de gaz corrosifs et réactifs. Centura 5200 utilise un contrôleur logique programmable (PLC) pour contrôler le réacteur et fournir une interface à l'opérateur. Cet outil dispose d'un outil de surveillance et de contrôle contrôlé par ordinateur qui permet un contrôle précis des processus en temps réel. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le Centura 5200 dispose également d'une salle blanche isolée pour minimiser les particules et la contamination. Ceci permet les tolérances de fabrication les plus élevées et un contrôle de procédé avancé pour l'optimisation du rendement. Centura 5200 est équipé de plusieurs capteurs et systèmes de contrôle en boucle fermée qui peuvent ajuster la température de la plaquette, la pression et le débit du processus, et la puissance de sortie pour garantir la qualité maximale de la plaquette. Le modèle comprend également un équipement de refroidissement pour s'assurer que la température est correctement maintenue dans la chambre, en plus de surveiller et de contrôler les niveaux d'ultraviolets et d'ozone autour de la chambre. En conclusion, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le Centura 5200 est un système de réacteur à semi-conducteurs polyvalent et performant, capable d'applications pelliculaires avancées et d'une production à haut rendement et à grande vitesse. Il utilise un environnement de salle blanche isolé, plusieurs capteurs et systèmes de contrôle, et une unité de contrôle PLC pour garantir une qualité maximale de plaquette. Avec son large éventail de capacités et son contrôle avancé des processus, Centura 5200 est une solution idéale pour les fabricants à la recherche d'une solution de lithographie fiable, efficace et rentable.
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