Occasion APPLIED MATERIALS Endura 5500 #194410 à vendre en France
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Vendu
ID: 194410
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1993
PDC System, 6", missing parts
Chambers: (2) standard, (1) wide body
Chamber 1: STD-Ta(CLAMP), DURA magnet
Chamber 2: Wide-TaSi(CLAMP), DURA magnet
Chamber 3: STD-AlCu(CLAMP), DURA magnet
Chamber A: PCⅡ(Pedestal)
1993 vintage.
MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura 5500 est une chambre de réaction utilisée dans des procédés tels que le dépôt, la gravure et le nettoyage. Il est utilisé pour traiter des semi-conducteurs, des films minces, des céramiques et d'autres matériaux. Endura 5500 dispose d'une fenêtre de processus exceptionnelle, ce qui signifie que sa gamme impressionnante de températures plasmatiques et de pressions peut être utilisée pour une variété d'applications. Cela le rend particulièrement adapté à de nombreuses tâches, telles que la gravure, le fraisage par faisceau d'ions, la pulvérisation et d'autres processus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura 5500 est un équipement à trois chambres, ce qui signifie que ses plusieurs parties sont interconnectées mais peuvent également être exploitées indépendamment. Les chambres sont la chambre de réaction (qui est la partie principale du système), la chambre de serrure (qui est utilisée pour charger et décharger des échantillons), et la chambre de procédé à chaud (qui est utilisée pour contrôler les gaz de processus). L'unité est compatible vide (VC) et est capable d'une pression de base de 1 x 10-6 mbar. La chambre de réaction déploie également un balayage polygone sophistiqué, qui permet une utilisation efficace de l'espace disponible tout en optimisant la ligne de faisceau pour une uniformité accrue. Les sources d'alimentation haute d'Endura 5500 sont efficaces pour les applications nécessitant une forte puissance impulsionnelle ou un courant de crête plus élevé. Il a une consommation électrique ultra-faible de moins de 1000W par pouce de longueur de ceinture, ce qui en fait l'un des systèmes les plus économes en énergie sur le marché. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'Endura 5500 est équipé d'un écran tactile de 10,4 pouces qui fournit aux utilisateurs une télécommande complète. Grâce à son interface graphique intuitive, les utilisateurs peuvent contrôler toutes les variables de processus de la machine. L'outil intègre les dernières fonctionnalités de sécurité et est équipé d'un actif de surveillance des pannes qui peut détecter les erreurs et alerter les opérateurs d'un problème. Endura 5500 a une foule de capacités qui le rendent parfait pour diverses tâches. Il est prêt en FM (matériau fonctionnel) et a la capacité de nettoyer les surfaces des chambres à l'aide de diverses sources de gaz, comme l'hydrogène et l'argon. Il a également la capacité d'intégrer la surveillance du dépôt de quartz et offre des cellules de procédé plasma de formes et de tailles variées afin d'obtenir une gravure ou un dépôt parfait. En conclusion, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura 5500 est un excellent modèle pour le traitement des semi-conducteurs. Ses caractéristiques avancées, y compris le balayage polygone et l'efficacité énergétique, en font un outil puissant et fiable pour des tâches telles que la gravure et le dépôt. Les différentes fonctionnalités de sécurité et l'interface utilisateur intuitive le rendent idéal pour les applications industrielles.
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