Occasion APPLIED MATERIALS Endura 5500 #66676 à vendre en France
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Vendu
ID: 66676
PVD systems, 8", sputter TNAA
Mainframe
2 Phase Cryo Pumps (0190-76014)
No RGA Valves
Hoists for Buff
Ch 1 Configure
Standard Body Chamber W/O Water Cooling Jacket
13” Source Assembly for STD(0010-20059)
2 Position Gate V/V
Pneumatic Lift Assembly for 101
Heater : Standard 101 Heater, No Backside Heater Gas Lines
Motorized Heater Assembly
Chamber Interconnect PCB(STD)
Baratron Gauge/Convectron Gauge/Ion Gauge and Cables of Those
Adapter Part# : 0040-22024
Ch 2 Configure
Wide Body Chamber w/o Shutter Assembly
13” Source Assembly for WB(0010-20401): MDX-L12M
Magnet part# : 0010-20223 or 0010-20818(Uncharged Al 13” Magnet)
Source Gear Box : 7.5:1
2 Position Gate Valve
Baratron Gauge/Convectron Gauge/Ion Gauge and Cables of those
Heater : Standard 101 heater, No Backside Heater Gas lines
Pneumatic lift assembly for 101
Chamber Interconnect PCB(STD)
Ch 3 Configure
Standard Body Chamber W/O Water Cooling Jacket
13” Source Assembly for STD(0010-20059)
2 Position Gate V/V
Pneumatic Lift Assembly for 101
Heater : Standard 101 Heater, No Backside Heater Gas Lines
Motorized Heater Assembly
Chamber Interconnect PCB(STD)
Baratron Gauge/Convectron Gauge/Ion Gauge and Cables of Those
Adapter Part# : 0040-22024
Ch 4 Configure
Standard Body Chamber W/O Water Cooling Jacket
13” Source Assembly for STD(0010-20059)
2 Position Gate V/V
Pneumatic Lift Assembly for 101
Heater : Standard 101 Heater, No Backside Heater Gas Lines
Motorized Heater Assembly
Chamber Interconnect PCB(STD)
Baratron Gauge/Convectron Gauge/Ion Gauge and Cables of Those
Adapter Part# : 0040-22024
Ch C Configure
Chamber Interconnect PCB
RF Match box for 200 mm
RF Resonator
13.56 MHz Comdel Power Supply (CPS-1001S)
RFPP 400 KHz Power Supply (LF-10)
Turbo Pump/Adapter (Not Elbow Type)/Cable/Controller(NT150/360)
Ch A Configure : Passthrough
ExistWhole assembly
No Missing Parts
Ch B Configure : Cooldown
No Missing Parts
LLC A&B
Narrow Body Tilt out
CH E&F
Orient Degas Chamber
No TC Option
Degas Module Part# : 0010-20317
1995-1998 vintage.
MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'Endura 5500 est un réacteur de gravure avancé à base de plasma conçu pour offrir des performances de gravure de haute qualité et de faibles coûts de maintenance. Endura 5500 est équipé des dernières avancées opto-mécaniques et de contrôle des processus, et est capable de fournir un traitement de gravure de précision avec un débit à haute vitesse et des résultats reproductibles à des coûts d'exploitation ultra bas. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura 5500 utilise une variété de technologies de gravure avancées, y compris le broyage ionique de haute puissance, la gravure ionique réactive à haute densité (RIE) et la gravure par pulvérisation. Avec un broyage ionique de grande puissance, les processus de gravure tels que le micromachinage et la réparation des défauts peuvent être effectués avec précision, fournissant des résultats reproductibles de haute qualité. Pour les applications de gravure profonde, Endura 5500 dispose de RIE haute densité qui permet de graver des profondeurs quatre fois supérieures à la profondeur de gravure de RIE classique. Pour des exigences de gravure extrêmement précises, APPLIED MATERIALS Endura 5500 comprend un procédé de gravure par pulvérisation cathodique de pointe, permettant une gravure de précision de structures aussi petites que 0,25 micromètres. Endura 5500 est également équipé d'une gamme de fonctionnalités d'automatisation de processus conçues pour accélérer et rationaliser les routines de gravure. Le contrôle et l'automatisation des processus sont réalisés grâce à l'utilisation d'un bras robotique intégré et d'une gamme de fonctions de contrôle en temps réel (RTC) qui permettent aux utilisateurs de contrôler pleinement les paramètres de gravure afin d'obtenir des résultats cohérents. En outre, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura 5500 est équipé d'un système intégré d'inspection avancée qui permet des tests fiables et la confirmation des processus des plaquettes. Afin d'assurer la fiabilité et d'optimiser les performances à long terme du procédé, Endura 5500 comprend également un système de maintenance prédictive sophistiqué qui surveille les paramètres de performance du réacteur de gravure et rend compte des besoins de maintenance, contribuant ainsi à minimiser les temps d'arrêt et les coûts de maintenance. Dans l'ensemble, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Endura 5500 est le choix idéal pour un traitement de gravure de haute précision et à haut débit. Avec des capacités d'automatisation avancées, des résultats de processus de haute qualité et des solutions de maintenance rentables, Endura 5500 est le réacteur de gravure idéal pour un large éventail d'applications.
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