Occasion ASM Epsilon 2000 #9050020 à vendre en France
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Vendu
ID: 9050020
Taille de la plaquette: 8"
EPI Reactor, 8"
Model 26
Stand-alone, single wafer
Reactor module:
Model RP for reduced pressure processing and ATM processing
Vacuum load locks (scroll pump not included)
Clean-room front with color touch screen operator interface
(2) independent wafer cassette load locks
Right-hand maintenance access configuration
Automated wafer handling section with Bernoulli wand
VAT – reactor gate valve
Maintenance access: 2 0port in wafer handling chamber
Epitaxy process chamber, susceptor and related quartzware for 200mm wafer processing
Toshiba graphite: square
Observation windows on maintenance access doors in wafer handling and process chamber sections
68040-based computer
Operating system and software with 4.3 Gbyte hard disk drive
Multiport Injector Flange with water cooling circuit
Vibration Isolation Package
HCl detector: reactor module
Adjustable Spot Lamps
Gas control module:
Orbital welded 316L stainless steel, electropolished interior surface tubing
Line and component connections via metal-gasketed fittings
.003 micron point-of-use filtration
AERA mass flow controllers: Model 7810/7820
Gas sampling ports
Gas Loops:
Nitrogen (N2) purge
Hydrogen (H2) carrier and purge
Hydrogen chloride (HCl) wafer and chamber etch
Dopant #1, diborane (B2H6) P-dopant, diluent and inject
Do pant #2, phosphine (PH3) or arsine (AsH3) N-dopant, diluent and inject
Low flow hydrogen chloride (HCl)
Auxiliary silicon source, dichlorosilane (SiH2Cl2, gas)
Auxiliary loop for TCS with MFC and Lorex Piezocon controller
Advanced application valving
HCl detector – gas module
Precision Vent Matching
Power module:
Single point, 3-phase, 60 Hz, 480 VAC power input
Lamp array SCR packs
110 VAC/24 VAC power distribution circuits
Power and load protection devices
0 ft. (15.2m) of interconnect wiring harness for remote operation
Engineering console:
Color touch screen operator interface
Operator key lock control
Temperature control digital electronics
50 ft. (7.6m) of interconnect wiring harness for remote operation
Source cabinet with mini bubbler:
10-liter mini-bubbler
H2 Detector
HCl detector
TCS/DCS.
ASM Epsilon 2000 est un réacteur polyvalent conçu pour répondre à un large éventail de besoins dans un large éventail d'applications. Il est conçu pour être un réacteur nucléaire fiable, peu entretenu et fonctionnant en toute sécurité, et il est capable de produire une variété de matières fissiles et de combustible enrichi isotopiquement nécessaires à la technologie nucléaire. Epsilon 2000 est un réacteur rapide refroidi au sodium. Ce type de réacteur utilise du sodium liquide comme fluide de refroidissement, ce qui lui permet de fonctionner à des températures plus élevées que les autres types de réacteur. Il est construit avec un noyau à double paroi et un conteneur en acier renforcé, qui offre une sécurité et une protection supplémentaires contre les sources extérieures. De plus, ASM Epsilon 2000 utilise divers systèmes de contrôle afin de s'assurer que son noyau ne dépasse pas ses limites de sécurité. Epsilon 2000 présente un certain nombre d'avantages par rapport aux autres réacteurs nucléaires. Il a un taux d'efficacité de 85 %, ce qui signifie qu'il est capable de produire plus d'énergie avec moins de carburant. L'amélioration de l'économie de combustible se traduit par une réduction des coûts d'exploitation et de la production de déchets, ce qui en fait une option de réacteur plus rentable. De plus, la conception d'ASM Epsilon 2000 permet une utilisation plus efficace du carburant, ce qui signifie qu'il est en mesure de convertir une plus grande partie du combustible en énergie, plutôt que de gaspiller de l'énergie par transfert de chaleur. Epsilon 2000 dispose également d'une variété de dispositifs de sécurité, tels qu'un système de coupure de courant central d'urgence et un système de sécurité de zone d'isolement. Grâce à ces caractéristiques, le réacteur a été conçu pour pouvoir répondre rapidement et en toute sécurité aux situations d'urgence. De plus, le réacteur dispose d'un système de fonctionnement avec des procédures de ravitaillement et de maintenance, assurant un bon entretien de ses composants intérieurs et un remplacement régulier du combustible. ASM Epsilon 2000 est un réacteur fiable capable de fournir une source d'énergie fiable, efficace et rentable pour diverses applications. Ses systèmes de sécurité avancés et son utilisation efficace du carburant témoignent de son engagement à préserver l'environnement et le bien-être de ses utilisateurs. Epsilon 2000 est un choix idéal pour la production d'énergie nucléaire.
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