Occasion ASM EPSILON 3200 #9198737 à vendre en France
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Vendu
ID: 9198737
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Chemical vapor deposition system, 12"
Epitaxial reactor
Reduced pressure
Chamber
Gas loops:
Nitrogen (N2) purge
Hydrogen (H2) carrier and purge
Hydrogen chloride (HCl) wafer and chamber etcher
Primary silicon source, dichlorosilane (SiH2Cl2, gas)
Low flow hydrogen chloride (HCl)
Auxiliary silicon source, silane (SiH4)
Germanium source, germane (GeH4)
SMIF System:
(2) ASYST ISO Port
Handler system:
ASYST FI Robot
GENMARK X-Fer robot
Configuration:
General system:
Model: E3200 RP
Left hand
Graphite:
Xycarb
Deep grid self-centering susceptor
Reactor pump:
EBARA
Front end interface:
(2) Load ports (RF): Isoport
(2) FOUP ID Readers (RF)
Side louvered panels / Flat top (Ballroom configuration)
Light tower - 4 Position
User touch screen:
Installation:
Door mounted on wafer transfer module
Single touchscreen
Wafer handling section:
Dual 25 wafer loadlock
Vacuum load locks:
Level 2
Pumps for VLL:
Customer to supply:
EBARA
Bernoulli wand
Reactor module:
HCl Detector-reactor
TEK
Gas control module:
Gases / Range
N2 / 100slm
H2 / 30slm
Low flow HCl / 500sccm
Dopant 1: Diborane / 20/200/200 (20slm Dilution MFC to be non-multiflow)
AUX 1: DCS / 500sccm
AUX 2: GeH4 / 350sccm (1% GeH4 in H2)
AUX 3: CH6Si / 200sccm (20% CH6Si in H2)
AUX 4: SiH4 / 500sccm
AUX 5: Reserve position for future silcore loop
Teed inlet on N-Dopant circuit:
Incoming check valves: 7
UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital)
Multi-gas, multi-flow for all flow loops except H2 main and 20slm dilution loop on dopant circuit
Precision vent matching
Mass flow verifier:
Canister: 50 Liters
HCl Detector: Gas module
Power supply:
50Hz / 480VAC
2007 vintage.
ASM EPSILON 3200 est un type de réacteur nucléaire. Il utilise un équipement de réacteur à eau légère (LWR), ce qui le rend adapté à la production d'électricité à grande échelle. Les principaux composants du réacteur sont le coeur du réacteur, le système de refroidissement primaire et les crayons combustibles. Le coeur du réacteur est constitué d'assemblages combustibles constitués de plusieurs centaines de crayons combustibles d'uranium. Le noyau est entouré d'un récipient à pression en acier inoxydable conçu pour contenir tous les composants. Le noyau est immergé dans une piscine d'eau légère, qui sert de liquide de refroidissement primaire. Ce liquide de refroidissement absorbe la chaleur produite par les réactions en cours dans le coeur, puis la transfère à un fluide de refroidissement secondaire, qui le transfère ensuite aux générateurs de turbine. En plus des barres de carburant, le coeur contient également des modérateurs qui ralentissent les électrons libérés lorsque les neutrons divisent les atomes d'uranium. Cela ralentit les réactions nucléaires, rendant le réacteur moins sujet aux risques associés aux réactions en chaîne non contrôlées. On peut également faire varier la densité des crayons combustibles pour contrôler encore la vitesse de réaction. La sécurité est un autre aspect important de l'EPSILON 3200. Il utilise de multiples niveaux de systèmes de contrôle, qui contrôlent le fonctionnement du réacteur et les systèmes de sécurité auxiliaires. Ceux-ci peuvent également être utilisés pour arrêter le réacteur en cas d'urgence. De plus, le réacteur est conçu pour contenir les déchets radioactifs qui peuvent être produits. Le réacteur est à la fois équipé d'une structure de confinement et est logé dans une unité de confinement secondaire. En conclusion, ASM EPSILON 3200 est un réacteur à eau légère. Il utilise une cuve sous pression en acier inoxydable pour contenir les composants du coeur du réacteur et est entouré d'une piscine d'eau légère. Des modérateurs et des systèmes de contrôle sont utilisés pour s'assurer que la réaction en chaîne dans le coeur est maintenue à des niveaux sûrs et qu'une machine de confinement est en place en cas d'accident. Gardant tous ces facteurs à l'esprit, EPSILON 3200 est une source d'énergie sûre et fiable.
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