Occasion ASM EPSILON 3200 #9366109 à vendre en France
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Vendu
ID: 9366109
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
EPI Reactor, 12"
CIM: SECS/GEM
GENMARK WHC Robot
ASYST FI Robot
(2) FOUPs
Purifier module
Remote AC Box
Door mounted on wafer transfer module
(25) Dual wafer load locks
BERNOULLI Wand
Front end interface:
(2) Isoport Load ports
(2) FOUP ID Readers
Side louvered panels / Flat top
4-Position light tower
Vacuum load locks
(2) BUSCH BC100
Reactor module:
Detector: HCl
TEK
Gas / Range
N2 / -
H2 / 100 SLM
HCL / 30 SLM
Low Flow HCL / 500 SCCM
Diborane / 20/200/200
AsH3/PH3 / 20/200/200 (with Teed inlet)
DCS / 500 SCCM
Silane / 500 SCCM
GeH4 / 200 SCCM (10% GeH4 in H2)
Pneumatic control
Celerity 8161
Precision vent matching
Mass flow verifier:
Canister: 50 L
Options system: Window 9
Does not include quartz chamber
2006 vintage.
ASM EPSILON 3200 est un réacteur de recherche avancée conçu pour des applications telles que les essais de matériaux, la radiographie des neutrons et l'analyse de l'activation des neutrons. Il s'agit d'un réacteur de faible puissance de 3 MWe avec un réservoir d'eau de type piscine et un coeur de 40 cm de diamètre, alimenté par un combustible enrichi à 20 % en dioxyde d'uranium. La piscine a un volume de 30 m3 et le réacteur fonctionne dans un état sous-critique, ce qui implique la nécessité d'insérer des barres de contrôle en continu. Le réacteur est thermiquement protégé par un préchauffeur installé au-dessus du coeur, et le flux de neutrons peut être modifié à l'aide de modérateurs, d'éléments d'enrichissement et de combustible. Le système de commande est basé sur un système électromécanique, avec deux points de sécurité en cas de défaillance et une logique permettant de ramener le réacteur à un fonctionnement normal en cas d'anomalies éventuelles. Les systèmes de sécurité sont conçus pour prévenir tout accident pouvant survenir pendant le fonctionnement, comme le surchauffe, la fusion d'éléments combustibles, les fuites de rayonnement ou la perte de systèmes de sécurité. Les systèmes d'alimentation d'urgence avec redémarrage automatique et scram du réacteur sont intégrés pour les exigences de sécurité les plus élevées. EPSILON 3200 est un réacteur de recherche fiable et efficace conçu pour l'étude des matières nucléaires, l'activation des neutrons, les irradiations d'échantillons, la radiographie des neutrons, la diffusion des neutrons et d'autres applications liées aux neutrons. Il est capable de fournir des neutrons à haut flux d'énergies multiples, qui sont utilisés dans différentes applications. Il peut être facilement entretenu et exploité, et convient à une grande variété de recherches.
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