Occasion ASM Epsilon E3200 #9196380 à vendre en France
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Vendu
ID: 9196380
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Chemical vapor deposition system, 12"
Epitaxial reactor
Reduced pressure
Chamber
Gas loops:
Nitrogen (N2) purge
Hydrogen (H2) carrier and purge
Hydrogen chloride (HCl) wafer and chamber etcher
Primary silicon source, dichlorosilane (SiH2Cl2, gas)
Low flow hydrogen chloride (HCl)
Auxiliary silicon source, silane (SiH4)
Germanium source, germane (GeH4)
SMIF System:
ASYST Integrated SMIF
Handler system:
ASYST FI Robot
GENMARK X-Fer robot
Configuration:
General system:
Model: E3200 RP
Right hand
Graphite:
Xycarb
Deep grid self-centering susceptor
Reactor pump:
BUSCH DS2000 supply
Front end interface:
(2) Load ports (RF): Isoport
(2) FOUP ID Readers (RF)
Side louvered panels / Flat top (Ballroom configuration)
User touch screen:
Installation:
Door mounted on wafer transfer module
Wafer handling section:
Dual 25 wafer loadlock
Vacuum load locks:
Level 2
Pumps for VLL:
Customer to supply:
(2) BUSCH BC100
Bernoulli wand
Reactor module:
HCl Detector-reactor
TEK
Gas control module:
Gases / Range
N2 / 100slm
H2 / 30slm
Low flow HCl / 500sccm
Dopant 1: Diborane / 20/200/200
Dopant 2: A5H3/PH3 / 20/200/200
AUX 1: DCS / 500sccm
AUX 2 (Reserve position for future silcore loop)
AUX 3: SiH4 / 500sccm
AUX 4: GeH4 / 50sccm (10% GeH4 in H2 with multi gas, multi-flow MFC)
Teed inlet on N-Dopant circuit:
Pneumatic control
UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital)
UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital)
Multi-gas, multi-flow for GeH4
Precision vent matching
Mass flow verifier:
Canister: 50 Liters
HCl Detector: Gas module
Power supply:
50Hz / 480VAC
2007 vintage.
ASM Epsilon E3200 est un réacteur de production d'électricité conçu par ASM Nuclear Technologies. Il s'agit d'un petit réacteur modulaire (SMR) de la prochaine génération de réacteurs, conçu pour fournir une solution sûre, efficace et rentable aux besoins énergétiques potentiels. Epsilon E3200 a une gamme de puissance électrique de 200 MW, et utilise la technologie de refroidissement primaire du réacteur à eau pressurisée intégrale (PWR). Le coeur du réacteur est entouré de parois de plaques en acier au bore à haute densité, avec à l'intérieur un équipement de coeur régulé contenant des grilles espaceuses à faible plomb, des barres de contrôle, des canaux de combustible et des tubes de calandre. Ceci assure un fonctionnement efficace et sûr du réacteur. Le réacteur est également équipé d'un système d'évacuation passive de la chaleur, qui permet de refroidir le réacteur en cas de perte de toute puissance électrique. Cette unité est basée sur la gravité et les principes de circulation naturelle, et n'utilise aucune puissance. Cette technologie de pointe fait d'ASM Epsilon E3200 l'un des réacteurs les plus sûrs actuellement disponibles sur le marché. Epsilon E3200 comprend également une machine numérique d'instrumentation et de contrôle, qui permet la surveillance en temps réel des paramètres du réacteur. Cela aide à maintenir le réacteur à un niveau d'efficacité maximal, et permet également d'alerter rapidement de tout problème ou problème potentiel. ASM Epsilon E3200 a passé des examens de sûreté approfondis par la Commission de réglementation nucléaire et est certifié pour les caractéristiques de sûreté avancées. Avec sa technologie de pointe et ses caractéristiques de sécurité, Epsilon E3200 est idéal pour une utilisation à distance, où l'accès aux sources d'énergie traditionnelles peut être limité ou inexistant. Cela fait d'ASM Epsilon E3200 une option viable pour ceux qui recherchent une source d'énergie efficace et sûre.
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