Occasion ASM Epsilon E3200 #9196380 à vendre en France

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Fabricant
ASM
Modèle
Epsilon E3200
ID: 9196380
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Chemical vapor deposition system, 12" Epitaxial reactor Reduced pressure Chamber Gas loops: Nitrogen (N2) purge Hydrogen (H2) carrier and purge Hydrogen chloride (HCl) wafer and chamber etcher Primary silicon source, dichlorosilane (SiH2Cl2, gas) Low flow hydrogen chloride (HCl) Auxiliary silicon source, silane (SiH4) Germanium source, germane (GeH4) SMIF System: ASYST Integrated SMIF Handler system: ASYST FI Robot GENMARK X-Fer robot Configuration: General system: Model: E3200 RP Right hand Graphite: Xycarb Deep grid self-centering susceptor Reactor pump: BUSCH DS2000 supply Front end interface: (2) Load ports (RF): Isoport (2) FOUP ID Readers (RF) Side louvered panels / Flat top (Ballroom configuration) User touch screen: Installation: Door mounted on wafer transfer module Wafer handling section: Dual 25 wafer loadlock Vacuum load locks: Level 2 Pumps for VLL: Customer to supply: (2) BUSCH BC100 Bernoulli wand Reactor module: HCl Detector-reactor TEK Gas control module: Gases / Range N2 / 100slm H2 / 30slm Low flow HCl / 500sccm Dopant 1: Diborane / 20/200/200 Dopant 2: A5H3/PH3 / 20/200/200 AUX 1: DCS / 500sccm AUX 2 (Reserve position for future silcore loop) AUX 3: SiH4 / 500sccm AUX 4: GeH4 / 50sccm (10% GeH4 in H2 with multi gas, multi-flow MFC) Teed inlet on N-Dopant circuit: Pneumatic control UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital) UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital) Multi-gas, multi-flow for GeH4 Precision vent matching Mass flow verifier: Canister: 50 Liters HCl Detector: Gas module Power supply: 50Hz / 480VAC 2007 vintage.
ASM Epsilon E3200 est un réacteur de production d'électricité conçu par ASM Nuclear Technologies. Il s'agit d'un petit réacteur modulaire (SMR) de la prochaine génération de réacteurs, conçu pour fournir une solution sûre, efficace et rentable aux besoins énergétiques potentiels. Epsilon E3200 a une gamme de puissance électrique de 200 MW, et utilise la technologie de refroidissement primaire du réacteur à eau pressurisée intégrale (PWR). Le coeur du réacteur est entouré de parois de plaques en acier au bore à haute densité, avec à l'intérieur un équipement de coeur régulé contenant des grilles espaceuses à faible plomb, des barres de contrôle, des canaux de combustible et des tubes de calandre. Ceci assure un fonctionnement efficace et sûr du réacteur. Le réacteur est également équipé d'un système d'évacuation passive de la chaleur, qui permet de refroidir le réacteur en cas de perte de toute puissance électrique. Cette unité est basée sur la gravité et les principes de circulation naturelle, et n'utilise aucune puissance. Cette technologie de pointe fait d'ASM Epsilon E3200 l'un des réacteurs les plus sûrs actuellement disponibles sur le marché. Epsilon E3200 comprend également une machine numérique d'instrumentation et de contrôle, qui permet la surveillance en temps réel des paramètres du réacteur. Cela aide à maintenir le réacteur à un niveau d'efficacité maximal, et permet également d'alerter rapidement de tout problème ou problème potentiel. ASM Epsilon E3200 a passé des examens de sûreté approfondis par la Commission de réglementation nucléaire et est certifié pour les caractéristiques de sûreté avancées. Avec sa technologie de pointe et ses caractéristiques de sécurité, Epsilon E3200 est idéal pour une utilisation à distance, où l'accès aux sources d'énergie traditionnelles peut être limité ou inexistant. Cela fait d'ASM Epsilon E3200 une option viable pour ceux qui recherchent une source d'énergie efficace et sûre.
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