Occasion ASM F120 #9384773 à vendre en France

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Fabricant
ASM
Modèle
F120
ID: 9384773
Thermal ALD system Upto 400°C (4) Reactors, 4" Single wafers Deposition: Al2O3: TMA and H20 TiN/TiO: TiCl and N2/O2 Uniformity: 80 - 90 mm.
Le réacteur ASM F120 est un type de réacteur à lit de particules qui est utilisé pour divers processus de modification de surface. Ce réacteur utilise un procédé à plasma hyperfréquence à flux continu, qui implique une combinaison d'un champ de plasma hyperfréquence et d'un lit de particules en rotation. Ce réacteur offre un certain nombre d'avantages uniques par rapport aux méthodes classiques de modification de surface, telles que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et la pyrolyse à flamme, et est idéal pour des applications telles que l'oxydation et le revêtement de surface, la passivation de surface, la stabilisation de surface et le dopage au nitrure de bore. Le réacteur ASM F 120 se compose de trois composants primaires - le générateur de plasma hyperfréquence, le lit de particules en rotation et la chambre de procédé. Le générateur de plasma utilise un tube magnétron pour générer un champ de plasma hyperfréquence chaud qui est injecté dans la chambre du réacteur. Le lit rotatif de particules est utilisé pour transporter les particules dans le champ plasmatique, d'où une plus grande efficacité et uniformité du processus de modification de surface. En regardant dans la chambre de procédé, F120 réacteur contient un tube de quartz qui a une extrémité inférieure fermée, une buse réglable, et quatre orifices pour les jauges de température, les entrées de gaz, les connexions de puissance RF, et d'autres matières d'alimentation. La chambre comporte également une série d'anneaux de quartz concentriques et un préchauffeur. Les anneaux créent un gradient de pression radial et le préchauffeur est utilisé pour préchauffer la chambre de procédé avant le transfert hyperfréquence de l'énergie vers les particules. Les caractéristiques du réacteur F 120 peuvent être affinées grâce à l'utilisation de divers paramètres tels que la température, la pression, le débit de gaz et la puissance RF. Avec une plage de température allant jusqu'à 2000 ° C, ce réacteur est capable de fonctionner dans des conditions extrêmes et d'offrir un niveau d'uniformité et de performance plus élevé. Ce réacteur est également capable de traiter divers matériaux, notamment des métaux, des matières plastiques et des matériaux céramiques. En conclusion, le réacteur ASM F120 est un réacteur à lit de particules polyvalent et efficace qui est utilisé pour divers usages et matériaux. Ce réacteur utilise un procédé à plasma hyperfréquence pour fournir une modification de surface uniforme et efficace et offre un certain nombre d'avantages par rapport aux méthodes classiques. Avec sa capacité à fonctionner dans des conditions extrêmes et sa capacité à traiter divers matériaux, le réacteur ASM F 120 est un choix populaire parmi les utilisateurs dans les domaines de l'ingénierie de surface et du dopage au nitrure de bore.
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