Occasion ASM Polygon 8300 #9004107 à vendre en France
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ID: 9004107
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2008
EPI reactor, 12"
ATM front-end and dual FOUP loaders
Pulsar 3000G ALCVD high-k process module
Low profile vessel (LPV) configuration with one LPV vessel per chamber
(8) Liquid level sense for Pulsar (ea. source)
GEM300 host interface software
Increased recipe volume software capability
Multi chamber sequence software capability
Pulse count software upgrade
Interface A software capability (per tool price)
Green to green bundle
Wafer present at gate
Pulsar chamber kit with susceptor
Additional spares kit
Options:
Pulsar chamber kit with susceptor
LPV vessels
Hi-k pump line kit
Ran less than 100 wafers
2008 vintage.
Le réacteur ASM Polygon 8300 est un réacteur à suspension gazeuse polyvalent et polyvalent à haute pression conçu pour l'action de blocs polymériques pour la production de polymères et pour des expériences de génie réactionnel. Le réacteur est équipé d'un agitateur mécanique et d'un équipement d'injection de gaz basé sur un principe de lit fluidisé modifié. Le réacteur est constitué d'une cuve cylindrique à pression en acier inoxydable avec deux flasques plats d'extrémité en acier inoxydable. La cuve sous pression fournit un volume intérieur total de 8 litres, avec une pression maximale de fonctionnement de 8 bars (g) jusqu'à 225 ° C Une pale haute performance et un système élévateur à gaz avec un dispositif élévateur à bulles de gaz permettent des débits d'énergie et de mélange élevés, permettant des vitesses de réaction plus rapides et des sélectivités de réaction plus élevées. Le polygone 8300 est équipé d'une unité d'injection de gaz ouvert. Cette machine est constituée d'un injecteur à « élévateur à bulles de gaz » en forme de polygone, situé au fond de la cuve sous pression et d'un tuyau de sortie menant au sommet de la cuve, permettant l'inclusion de gaz dans le réacteur sans pertes de pression importantes. Le réacteur est également conçu pour offrir un environnement de travail sûr, avec tous les instruments, vannes, pompes et composants électriques intégrés dans la cuve elle-même. Le réservoir de pression et ses brides d'extrémité sont équipés d'une cloche thermique standard pour capteurs de température et de pression, ainsi que de soupapes de pression de sécurité pour la sécurité de secours. Un manomètre indépendant indique la pression de l'outil à l'intérieur du récipient. En outre, le réacteur ASM Polygon 8300 est conçu pour un fonctionnement facile et une efficacité maximale. Tous les équipements sont conçus pour minimiser les pertes de chaleur et de pression et pour faciliter les temps de démarrage rapides. En outre, le réacteur est également conçu pour le fonctionnement automatisé et le contrôle des processus. Le polygone 8300 est apte à fonctionner dans des conditions d'écoulement actif et continu. L'actif d'alimentation est constitué d'une pompe péristaltique montée verticalement qui peut délivrer à la fois le réactif et le produit de réaction. En résumé, le réacteur ASM Polygon 8300 est un réacteur polyvalent hautement efficace, adapté à la synthèse de polymères, aux expériences de génie réactionnel et à d'autres applications. Son modèle d'injection de gaz ouvert fournit un apport énergétique élevé et des taux de mélange, tandis que le récipient sous pression et son équipement de sécurité intégré assurent la sécurité pendant le fonctionnement. Son fonctionnement automatisé et ses capacités de contrôle des processus garantissent une efficacité maximale.
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