Occasion ASML Frames #293652776 à vendre en France

Un cadre ASML est un type de réacteur utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. C'est un outil utilisé pour créer des semi-conducteurs avec des motifs précis de motifs d'éléments qui sont utilisés dans des composants électroniques. Les cadres ASML sont classés en deux types : CVD (dépôt chimique en phase vapeur) et PECVD (dépôt chimique en phase vapeur renforcé par plasma). Un cadre CVD ASML est une chambre à vide horizontale remplie de gaz précurseur. A l'intérieur de la chambre se trouve une plaquette tournant au-dessus d'un filament chauffé pour créer une réaction thermique. La réaction provoque le dépôt d'un film mince d'un matériau prédéterminé - généralement du silicium - à la surface de la plaquette qui forme le motif ultérieur du semi-conducteur. Un cadre PECVD ASML fonctionne de façon similaire à un cadre CVD. Dans ce cadre, le gaz précurseur est ionisé par la décharge d'un générateur de plasma. Cette réactivité accrue des molécules gazeuses conduit à une vitesse de dépôt plus rapide que la CVD, mais limite le type de films qui peuvent être déposés. Il nécessite également des composants plus avancés pour maintenir le plasma, conduisant à une plus grande complexité du cadre. Dans l'un ou l'autre type de cadre ASML, tout le processus se déroule dans une chambre à vide. Ceci est essentiel car la réactivité de différentes molécules dépend largement de la pression de l'environnement. Puisque le processus se déroule sous vide, aucun air ne peut entrer, assurant que seules les molécules prévues sont utilisées pour le processus de dépôt. La plaquette est maintenue en place par un mandrin qui l'immerge dans la chambre à vide et l'empêche de se détériorer par dégradation thermique. De plus, le mandrin est capable de déplacer la plaquette contre le filament, améliorant encore la précision du procédé de dépôt. Habituellement, le mouvement est contrôlé par des logiciels ou des commandes électroniques. Enfin, le dernier élément important pour assurer une couverture pelliculaire uniforme est un flacon protecteur. Ce flacon est rempli d'un solvant pour protéger la plaquette des températures élevées générées lors du processus de dépôt. Le flacon empêche également les particules dans l'air de se déposer à la surface de la plaquette et forme une barrière contre les contaminants atmosphériques. En conclusion, les cadres sont des composants nécessaires dans l'industrie des semi-conducteurs. Ils permettent le dépôt précis de couches minces critiques pour la réalisation de composants électroniques fiables et cohérents.