Occasion CAMBRIDGE NANOTECH / VEECO Savannah #293590453 à vendre en France

CAMBRIDGE NANOTECH/VEECO Savannah est un réacteur robuste et à grande vitesse conçu pour traiter des semi-conducteurs composés de différentes épaisseurs et tailles. Ce réacteur est un outil de choix pour de nombreuses universités et laboratoires industriels de recherche et développement. VEECO Savannah offre un processus entièrement automatisé avec une fonction d'auto-calibrage qui élimine la nécessité d'une intervention manuelle continue. Il peut être utilisé pour divers procédés de synthèse, de fabrication et de modification de matériaux, tels que le dopage, le dépôt épitaxial et la gravure. Le réacteur est construit avec quatre canaux de gaz indépendants et a une capacité allant jusqu'à neuf plaquettes. Chaque plaquette est traitée consécutivement par le bras du robot, permettant la commutation automatisée des gaz de procédé et des matériaux d'échantillonnage. Cela permet de programmer et de maintenir avec précision des facteurs précis tels que la vitesse de croissance et la température. CAMBRIDGE NANOTECH Savannah dispose d'un processus à basse pression, qui est nécessaire pour les processus de dépôt épitaxial les plus avancés. Il a une plage de température de 100 ° C à 800 ° C et peut être utilisé avec des sources d'alimentation en courant continu ou RF, ce qui le rend adapté à un large éventail d'applications. Afin d'assurer un contrôle précis de la croissance, Savannah dispose d'un détecteur de fin de course, d'un équipement de diagnostic et d'un contrôle de température en boucle fermée. De plus, il dispose d'un système pratique de transfert de plaquettes, d'une unité de métrologie intégrée et d'une machine anti-contamination qui prévient la contamination des particules tout au long de la course. CAMBRIDGE NANOTECH/VEECO Savannah est un réacteur très efficace et convivial spécialement conçu pour le dépôt de matériaux semi-conducteurs composés et d'autres procédés. Avec son large éventail de paramètres de processus et son contrôle précis de la croissance, VEECO Savannah est un outil idéal pour les chercheurs en semi-conducteurs, offrant la plate-forme idéale pour explorer et développer de nouveaux processus.