Occasion CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #293597728 à vendre en France
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ID: 293597728
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2002
PVD System, 12"
For solder bump
CANON ANELVA Cosmos 300 PVD System
(2) CANON ANELVA Unit-875CA Cryopump compressors
System rack
LCD Monitor rack
Controller rack
AC Power rack
Chiller
DC Rack
RF Rack
Cryo He hose
Process chambers:
Chamber-A (SLA-ICP)
Chamber-B, (3) Cooling and gate bulbs
Chamber-C
Chamber-D (Process: Cu)
Chamber-E (Process: Ti)
Chamber-F (Heat)
Dry pump racks:
EBARA AA10N Dry pump (upper stage)
EBARA AA10N Dry pump (lower stage)
Chambers:
Degas
SLA-ICP
Collimated CO
(2) STD-PVD
1022-41205C Channel relay box
1022-33862C Channel relay box
1022-39070C Channel relay box
(19) OMRON EE-SPX613 Liquid level sensors
ULVAC Qulee CGM-052 Gas analyzer
DENKI KOGYO STC-1S Matching control unit
DENKI KOGYO ST-1S Matching network
SMT1000J APC Smart-UPS 1000 LCD, 100 V
SUA1000J APC Smart-UPS 1000 VA USB, 100 V
ULVAC WPB-10-034 Pirani vacuum gauge
OMRON EE-SX674 Photo micro sensor
COPAL ELECTRONICS PG-35-102R-NVC Pressure gauge
Main breaker: 175/225 A
Interrupt current:10 A
Main UPS power supply
Power supply: 200 VAC, 50/60 Hz, 3-Phase, 3-wire (Ground)
2002 vintage.
CANON/ANELVA COSMOS I-1201 est un réacteur pulvérisateur compact et performant qui est utilisé pour le dépôt de couches minces. Il s'agit d'un réacteur de type magnétron à courant continu capable de produire des couches minces à des taux de dépôt allant jusqu'à 0,2 nm/s et ayant la capacité de pulvériser pratiquement n'importe quel matériau. Le réacteur est équipé d'une structure de montage pour le maintien des substrats, d'un système d'échappement pour l'évacuation de la chambre, d'un générateur RF pour la commande du procédé, et d'une source d'ions pour la manipulation des charges d'ions. Le réacteur comprend également un filament chauffé de type magnétron pour les sources d'ions, un tube d'accélération du faisceau d'ions, un canon à électrons et un aimant à cylindre d'électrons multi-étages. CANON COSMOS I-1201 est capable de produire des films minces de haute qualité et uniformes et peut pulvériser pratiquement n'importe quel matériau. Il utilise une alimentation en courant alternatif haute fréquence pour créer un environnement basse pression dans la chambre, ce qui permet la pulvérisation de films métalliques et d'oxyde métallique. Il convient à la production de cuivre, d'aluminium, de titane, de zinc et d'autres métaux ainsi qu'à une grande variété de films d'oxyde métallique. Le réacteur a une puissance réglable jusqu'à 1000 W et a la capacité d'ajuster la vitesse de dépôt en fonction de l'épaisseur du matériau cible. La structure globale d'ANELVA COSMOS I-1201 est conçue pour un entretien minimal et de faibles coûts d'exploitation. Sa conception modulaire permet un démontage et un remontage faciles à des fins de maintenance. La chambre présente un couvercle scellé pour un nettoyage aisé et le substrat peut être mis en rotation et ajusté pour obtenir l'angle et l'aire de dépôt désirés. La machine est également équipée d'interrupteurs de sécurité au gaz et électrique et d'une variété de capteurs de surveillance de processus qui peuvent être utilisés pour maintenir des performances optimales. COSMOS I-1201 est un puissant réacteur de pulvérisation qui peut être utilisé pour déposer des films minces de qualité supérieure à un coût raisonnable. Il offre un contrôle de haute précision sur le processus et est capable de produire des films ultra-minces avec une épaisseur uniforme et une excellente reproductibilité. Avec sa structure de maintenance pratique, ses niveaux de puissance réglables et sa durabilité éprouvée, CANON/ANELVA COSMOS I-1201 est le choix idéal pour les applications dans la production de composants en couches minces.
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