Occasion CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #293649672 à vendre en France
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ID: 293649672
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2002
PVD System, 12"
For solder bump
CANON ANELVA Cosmos 300 PVD System
(2) CANON ANELVA Unit-875CA Cryopump compressors
System rack
LCD Monitor rack
Controller rack
AC Power rack
Chiller
DC Rack
RF Rack
Cryo He hose
Process chambers:
Chamber-A (SLA-ICP)
Chamber-B, (3) Cooling and gate bulbs
Chamber-C
Chamber-D (Process: Cu)
Chamber-E (Process: Ti)
Chamber-F (Heat)
Dry pump racks:
EBARA AA10N Dry pump (upper stage)
EBARA AA10N Dry pump (lower stage)
Chambers:
Degas
SLA-ICP
Collimated CO
(2) STD-PVD
1022-41205C Channel relay box
1022-33862C Channel relay box
1022-39070C Channel relay box
(19) OMRON EE-SPX613 Liquid level sensors
ULVAC Qulee CGM-052 Gas analyzer
DENKI KOGYO STC-1S Matching control unit
DENKI KOGYO ST-1S Matching network
SMT1000J APC Smart-UPS 1000 LCD, 100 V
SUA1000J APC Smart-UPS 1000 VA USB, 100 V
ULVAC WPB-10-034 Pirani vacuum gauge
OMRON EE-SX674 Photo micro sensor
COPAL ELECTRONICS PG-35-102R-NVC Pressure gauge
Main breaker: 175/225 A
Interrupt current:10 A
Main UPS power supply
Power supply: 200 VAC, 50/60 Hz, 3-Phase, 3-wire (Ground)
2002 vintage.
CANON/ANELVA Cosmos I-1201 est un réacteur à arc sous vide (VAR) utilisé dans les procédés de pulvérisation industrielle. Il s'agit d'un dispositif compact, complètement étanche et autonome utilisé pour contrôler la vitesse de dépôt des revêtements métalliques, diélectriques et céramiques réactifs et non réactifs sur divers matériaux industriels. CANON Cosmos I-1201 est alimenté par un arc formé entre une anode et une cathode lorsqu'une chambre scellée sous vide est remplie d'un mélange basse pression d'argon et d'oxygène. L'arc est généré par le courant électrique qui circule de la cathode chargée négativement à l'anode chargée positivement. Cet arc crée un champ de plasma, permettant d'évaporer de la matière réactive et non réactive d'une cible chauffée, puis de la déposer sur un substrat pour former un revêtement industriel désiré. ANELVA Cosmos I-1201 est équipé d'un générateur de phase média qui permet de fonctionner en mode pulvérisation réactive ou non réactive (magnétron). Lorsqu'il fonctionne en mode pulvérisation, Cosmos I-1201 utilise la technologie magnétron pour créer des revêtements très uniformes tout en consommant moins de puissance que les systèmes d'évaporation classiques. Le magnétron sert de composant central dans la chambre, et sa conception influence grandement les performances et l'uniformité du revêtement pulvérisé. Le système de résonance cyclotron électronique (ECR) fermé fournit des températures de surface de substrat plus élevées, réduisant sensiblement les sous-produits de matériaux cibles érodés. La portée du système à vide CANON/ANELVA Cosmos I-1201 est vaste et permet de fonctionner à des pressions allant de moins de 10-4 Pa à plus de 10-2 Pa. Deux caractéristiques distinctives de la chambre à vide sont les joints de trilock trouvés entre les chambres et la base pivotante qui assure un entretien et un alignement rapides et faciles. Selon le type de dépôt de film, CANON Cosmos I-1201 peut être équipé de deux ou quatre chambres de traitement pour le fonctionnement multi-chambres. Le système de refroidissement anodique est basé sur des électrodes refroidies à l'eau et une chambre refroidie à l'eau et assure une évacuation efficace de la chaleur pendant le fonctionnement. Les systèmes brevetés de refroidissement à l'anode et à l'huile préviennent les dommages thermiques à l'anode et permettent de maintenir une température régulière dans tout le substrat visé. ANELVA Cosmos I-1201 utilise des technologies de pointe pour garantir des processus précis et reproductibles et un fonctionnement sûr. Le dernier logiciel, combiné à l'architecture multi-usages, permet à l'utilisateur de surveiller, contrôler et ajuster complètement les nombreux paramètres du processus de dépôt. De plus, le diagnostic in situ intégré, lorsqu'il est activé, permet de recueillir des informations sur les paramètres plasmatiques, y compris la puissance du courant et du faisceau moyen, la charge thermique, le courant cible et la tension. Dans l'ensemble, Cosmos I-1201 est un dispositif de réacteur fiable et efficace qui facilite de nombreux processus de pulvérisation industrielle. Il est composé de solutions d'ingénierie avancées et d'une technologie de pointe qui garantit la précision, la versabilité et la sécurité d'exploitation.
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