Occasion CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #9292966 à vendre en France

CANON / ANELVA COSMOS I-1201
ID: 9292966
PVD System.
CANON/ANELVA COSMOS I-1201 est un réacteur à base de plasma, généralement utilisé dans des traitements de surface et d'autres applications en couches minces. Il est équipé d'un écran tactile de 10,4 pouces pour un fonctionnement facile, ainsi que de plusieurs systèmes d'avertissement pour assurer la sécurité. CANON COSMOS I-1201 utilise des micro-ondes pour générer et maintenir un plasma haute température et haute densité. Ce plasma est utilisé pour exciter, ioniser et chauffer indirectement une espèce gazeuse cible qui réagit à son tour avec des matériaux de substrat pour créer des couches minces. Tous les paramètres physiques et les conditions cibles du processus peuvent être personnalisés avec le panneau tactile, comme la puissance de la source, le débit de gaz, la température et la pression. Pour garantir des performances élevées, le réacteur est équipé de systèmes avancés pour surveiller et maintenir les paramètres plasmatiques. ANELVA COSMOS I-1201 a une disposition cylindrique avec les composants du réacteur disposés symétriquement autour de l'axe central du réacteur. Cette configuration permet d'optimiser la taille de la chambre à gaz et la densité du plasma pour une production de plasma efficace. La base de la chambre du réacteur est en matériau céramique spécial à faible conductivité thermique pour réduire les pertes thermiques du procédé. Le dispositif à plasma dispose d'une alimentation centralisée, d'un système d'alimentation, d'un châssis de contrôle et de surveillance et d'un système de contrôle central. Le cylindre fournit un profil de température plasma uniforme qui « scelle » efficacement la chambre du réacteur des interférences extérieures et maintient des paramètres plasmatiques uniformes. La source RF utilisée dans le réacteur à plasma COSMOS I-1201 est un type à induction dont la fréquence peut être ajustée de 1 MHz à 13,56 MHz. L'utilisation de fréquences plus basses aide à exécuter les processus plus efficacement et à réduire la pulvérisation. Les paramètres plasmatiques globaux et les conditions de traitement peuvent également être contrôlés en temps réel, via le logiciel dédié installé avec le réacteur. Le réacteur est protégé par un revêtement anti-corrosion chlorure pour des performances optimales dans des conditions d'humidité élevée. Le réacteur est unique parmi d'autres réacteurs de type panneau en raison de sa taille compacte, de sa faible empreinte et de son interface de contrôle facile à utiliser. Avec sa haute performance et sa faible puissance énergétique, le réacteur à plasma CANON/ANELVA COSMOS I-1201 est une solution idéale pour de nombreuses applications industrielles de traitement des matériaux.
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