Occasion CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #9377264 à vendre en France

CANON / ANELVA COSMOS I-1201
ID: 9377264
PVD System.
CANON/ANELVA COSMOS I-1201 est un réacteur de gravure et de dépôt très efficace, compact et puissant. Elle est particulièrement adaptée à la gravure et au dépôt de métaux, de semi-conducteurs, de composés et de diélectriques. Il est capable de délivrer jusqu'à 500 W de puissance à une fréquence de 1-30 MHz et convient à diverses applications, telles que la microfabrication et le dépôt en couches minces. Il est conçu pour être compatible avec les équipements et les matériaux les plus courants, ce qui en fait un choix idéal pour les laboratoires de recherche et les utilisateurs industriels. CANON COSMOS I-1201 dispose d'une alimentation intégrée et de deux chambres séparées. La première chambre est une chambre de gravure où le gaz de procédé est introduit et est commandé par une combinaison d'un panneau de gaz, d'une vanne et d'un manomètre de la chambre. La chambre est conçue pour une homogénéité plasmatique optimale et est facilement surveillée et ajustée pour assurer l'obtention des résultats souhaités. La deuxième chambre est une chambre de dépôt et est conçue pour offrir des propriétés pelliculaires uniformes, telles que la vitesse de dépôt, l'uniformité et la précision. Il peut accueillir des matériaux de toute taille et épaisseur, et peut être combiné avec de multiples gaz de procédé pour différentes applications. Une autre caractéristique d'ANELVA COSMOS I-1201 est le canon à électrons E-gun, qui fournit des capacités directes de gravure et de dépôt de faisceau d'électrons. Le canon est équipé d'une source d'alimentation automatique RF qui permet un fonctionnement fiable et un dépôt et une gravure rapides et précis. La puissance RF est réglable sur une large gamme pour permettre le chauffage et le recuit du substrat. Pour améliorer la précision du processus, les électrons E-gun peuvent être focalisés et collimatés à l'aide d'une grille de focalisation réglable indépendamment. COSMOS I-1201 est également équipé d'un automate de réglage automatique des paramètres du générateur RF. Ceci permet à l'utilisateur de contrôler les paramètres du plasma en fonction des conditions souhaitées et est particulièrement utile pour un débit et une répétabilité élevés. Enfin, CANON/ANELVA COSMOS I-1201 dispose d'un système de sécurité intégré et est conçu pour la conformité OSHA. Il comprend de nombreuses caractéristiques de sécurité, telles que des alarmes d'ionisation, une protection contre la surchauffe et un interrupteur d'arrêt d'urgence. Il dispose également d'un système de filtration à faibles émissions pour assurer des conditions de travail saines dans la salle d'opération. Une fenêtre de vue claire permet à l'utilisateur de garder un œil sur le processus en tout temps. En résumé, CANON COSMOS I-1201 est un réacteur de dépôt et de gravure très efficace, compact et puissant. Il est capable de fournir des niveaux élevés de puissance avec un contrôle précis et une large gamme de gaz de procédé, et est conçu pour un fonctionnement sûr et fiable. Il est idéal pour les laboratoires de recherche et les utilisateurs industriels et est certain d'améliorer l'efficacité et la précision de nombreux processus.
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